• tiktok (1)
  • 65e82dd5zw
  • 65e82ddy2n
  • 65e82ddq7i
Leave Your Message
Los jou boodskap

Halfgeleier stikstofgenerator

Wanneer halfgeleiers vervaardig word, word hoësuiwer stikstof gewoonlik benodig om halfgeleiermateriale en -toerusting te beskerm. 'n Stikstofgenerator is 'n toestel wat gebruik word om hoësuiwer stikstof te produseer. Dit gebruik gewoonlik lugskeidingstegnologie om stikstof en suurstof in die lug te skei om hoësuiwer stikstof te produseer.

Tydens die halfgeleiervervaardigingsproses kan die stikstofgenerator stabiele, hoë-suiwer stikstof verskaf om halfgeleiermateriale en -toerusting teen kontaminasie deur suurstof en ander onsuiwerhede te beskerm. Dit help om stabiliteit en betroubaarheid tydens die halfgeleiervervaardigingsproses te verseker.

Daarom speel stikstofgenerators 'n belangrike rol in halfgeleiervervaardiging en kan hulle help om die gehalte en werkverrigting van halfgeleierprodukte te verseker.

    Kenmerke

    Hoë-suiwer stikstofproduksie: Die stikstofgenerator kan hoë-suiwer stikstof produseer, wat gewoonlik die suiwerheidsvereiste van meer as 99.999% kan bereik, wat verseker dat die gasgehalte in die halfgeleiervervaardigingsproses aan die vereistes voldoen.

    Stabiele stikstoftoevoer: Die stikstofgenerator kan 'n stabiele stikstoftoevoer verskaf om die stabiliteit en betroubaarheid van stikstof tydens die halfgeleiervervaardigingsproses te verseker.

    Outomatiese beheer: Stikstofgenerators het gewoonlik outomatiese beheerstelsels wat stikstofuitset kan monitor en aanpas om aan die behoeftes van verskillende prosestoestande te voldoen.

    Doeltreffend en energiebesparend: Moderne stikstofgenerators is gewoonlik ontwerp om doeltreffend en energiebesparend te wees, in staat om hoë suiwerheid stikstof te produseer terwyl energieverbruik en bedryfskoste verminder word.

    Betroubaarheid en duursaamheid: Stikstofgenerators het gewoonlik hoë betroubaarheid en duursaamheid, kan stabiel vir 'n lang tyd werk en voldoen aan die behoeftes van halfgeleiervervaardigingsprosesse.

    spesifikasie

    Stikstofproduksie

    1-5000Nm³/h

    Stikstof suiwerheid

    95%-99.9999%

    Stikstofdruk

    0.1-1.6MPa (verstelbaar)

    Stikstof doupunt

    0~-60℃

    Prosesvloei

    66274b3507

    Die lugkompressor pers die rou lug saam tot hoëdruklug, stuur dit na die lugbuffertenk om die druk te stabiliseer, en verwyder dan verder vog, oliemis, ens. deur die filter, en vries en dehidreer deur die verkoelde droër om 'n groot hoeveelheid vog te verwyder, en gaan dan die derde fase binne. Die filter filtreer verder skadelike stowwe, en dan kom die skoon saamgeperste lug van die onderkant van die adsorpsietoring in. Nadat die lugvloei deur die lugdiffusietoestel (universele spiraal of porseleinbal) versprei is, gaan dit eweredig die adsorpsietoring binne vir suurstof- en stikstofadsorpsie en -skeiding, en verlaat dan die uitlaatkant. Die stikstof vloei uit en gaan die stikstofopgaartenk binne. Hierdie stikstofproduksieproses duur ongeveer 1 minuut. Daarna, deur drukgelykmaking en drukvermindering (tot normale druk), word die geadsorbeerde onsuiwerheidskomponente (hoofsaaklik suurstof) verwyder, en die regenerasie van die adsorbent word voltooi. Die twee adsorpsietorings werk in afwisselende siklusse, voer voortdurend rou lug in en produseer voortdurend gekwalifiseerde stikstof.

    Toepassing

    5cbd8850b3dfd89a1a698e2aedbd29de1v

    Stikstofbeskerming: In die halfgeleiervervaardigingsproses moet baie stappe in 'n suurstofvrye of suurstofarme omgewing uitgevoer word om te verhoed dat materiale deur suurstof besoedel of geoksideer word. Stikstofgenerators kan hoë suiwer stikstof verskaf om halfgeleiermateriale en -toerusting te beskerm en suiwerheid en stabiliteit tydens die vervaardigingsproses te verseker.

    Dampneerslag: In halfgeleierprosesse is dampneerslag 'n algemene dunfilmneerslagtegnologie wat die gebruik van hoësuiwer gasse vereis om afsettingsmateriaal te verskaf. Die stikstofgenerator kan hoësuiwer stikstof verskaf vir atmosfeerbeheer en -beskerming tydens die dampneerslagproses.

    Skoonmaak en droging: Skoonmaak en droging is baie belangrike stappe in halfgeleiervervaardiging, wat die gebruik van droë gas vereis om vog en onsuiwerhede te verwyder. Stikstofgenerators kan droë stikstof verskaf vir die skoonmaak en droging van halfgeleiertoerusting en -materiale.

    Gasanalise: Tydens die halfgeleiervervaardigingsproses moet gasse geanaliseer en gemonitor word om die stabiliteit en konsekwentheid van prosestoestande te verseker. Die stikstofgenerator kan hoë-suiwer stikstof verskaf vir kalibrasie en gasvoorsiening van gasanalise-instrumente.

    Kortliks, stikstofgenerators speel 'n belangrike rol in die halfgeleierbedryf en kan hoë suiwerheid, stabiele en betroubare stikstof verskaf om aan die streng vereistes vir gasgehalte en -voorsiening in die halfgeleiervervaardigingsproses te voldoen.

    ee3642bdd6cfd27b1b8fd4db766355c86x