Polprevodniški generator dušika

Pri proizvodnji polprevodnikov je za zaščito polprevodniških materialov in opreme običajno potreben dušik visoke čistosti. Generator dušika je naprava, ki se uporablja za proizvodnjo dušika visoke čistosti. Običajno uporablja tehnologijo ločevanja zraka za ločevanje dušika in kisika v zraku za proizvodnjo dušika visoke čistosti.

Med postopkom izdelave polprevodnikov lahko generator dušika zagotavlja stabilen dušik visoke čistosti, ki ščiti polprevodniške materiale in opremo pred kontaminacijo s kisikom in drugimi nečistočami. To pomaga zagotoviti stabilnost in zanesljivost med postopkom izdelave polprevodnikov.

Zato imajo generatorji dušika pomembno vlogo pri proizvodnji polprevodnikov in lahko pomagajo zagotoviti kakovost in delovanje polprevodniških izdelkov.

Kontaktirajte nas

Značilnosti

Proizvodnja dušika visoke čistosti: Generator dušika lahko proizvaja dušik visoke čistosti, ki običajno doseže zahtevano čistost več kot 99,999 %, kar zagotavlja, da kakovost plina v procesu proizvodnje polprevodnikov izpolnjuje zahteve.

Stabilna oskrba z dušikom: Generator dušika lahko zagotavlja stabilno oskrbo z dušikom, da se zagotovi stabilnost in zanesljivost dušika med postopkom izdelave polprevodnikov.

Avtomatizirano krmiljenje: Generatorji dušika imajo običajno avtomatizirane krmilne sisteme, ki lahko spremljajo in prilagajajo izhod dušika, da zadostijo potrebam različnih procesnih pogojev.

Učinkoviti in energetsko varčni: Sodobni generatorji dušika so običajno zasnovani tako, da so učinkoviti in energetsko varčni, saj lahko proizvajajo visoko čist dušik, hkrati pa zmanjšujejo porabo energije in obratovalne stroške.

Zanesljivost in vzdržljivost: Generatorji dušika imajo običajno visoko zanesljivost in vzdržljivost, lahko stabilno delujejo dolgo časa in izpolnjujejo potrebe proizvodnih procesov polprevodnikov.

specifikacija

Proizvodnja dušika	1–5000 Nm³/h
Čistost dušika	95 %–99,9999 %
Tlak dušika	0,1–1,6 MPa (nastavljivo)
Rosišče dušika	0~-60℃

Potek procesa

Zračni kompresor stisne surov zrak v visokotlačni zrak, ga pošlje v rezervoar za zrak, da stabilizira tlak, nato pa skozi filter dodatno odstrani vlago, oljno meglico itd., nato pa se zamrzne in dehidrira skozi hladilni sušilnik, da se odstrani velika količina vlage, in nato vstopi v tretjo stopnjo. Filter nadalje filtrira škodljive snovi, nato pa čist stisnjen zrak vstopi z dna adsorpcijskega stolpa. Ko se zračni tok razprši skozi napravo za difuzijo zraka (univerzalna spirala ali porcelanasta krogla), enakomerno vstopi v adsorpcijski stolp za adsorpcijo in ločevanje kisika in dušika, nato pa izstopi skozi izhodni konec. Dušik izteče in vstopi v rezervoar za shranjevanje dušika. Ta postopek proizvodnje dušika traja približno 1 minuto. Nato se z izenačevanjem tlaka in znižanjem tlaka (na normalen tlak) odstranijo adsorbirane nečistoče (predvsem kisik) in regeneracija adsorbenta je končana. Oba adsorpcijska stolpa delujeta v izmeničnem ciklu, neprekinjeno dovajata surov zrak in neprekinjeno proizvajata kvalificiran dušik.

Uporaba

Zaščita pred dušikom: V procesu izdelave polprevodnikov je treba številne korake izvajati v okolju brez kisika ali z nizko vsebnostjo kisika, da se prepreči kontaminacija ali oksidacija materialov s kisikom. Generatorji dušika lahko zagotovijo visoko čist dušik za zaščito polprevodniških materialov in opreme ter zagotovijo čistost in stabilnost med proizvodnim procesom.

Naparjanje: V polprevodniških postopkih je naparjanje pogosta tehnologija nanašanja tankih filmov, ki zahteva uporabo visoko čistih plinov za zagotavljanje materialov za nanašanje. Generator dušika lahko zagotovi visoko čist dušik za nadzor in zaščito atmosfere med postopkom naparjanja.

Čiščenje in sušenje: Čiščenje in sušenje sta zelo pomembna koraka v proizvodnji polprevodnikov, ki zahtevata uporabo suhega plina za odstranjevanje vlage in nečistoč. Generatorji dušika lahko zagotovijo suh dušik za čiščenje in sušenje polprevodniške opreme in materialov.

Analiza plina: Med postopkom izdelave polprevodnikov je treba analizirati in spremljati pline, da se zagotovi stabilnost in doslednost procesnih pogojev. Generator dušika lahko zagotovi visoko čist dušik za kalibracijo in oskrbo instrumentov za analizo plina s plinom.

Če povzamemo, generatorji dušika igrajo pomembno vlogo v polprevodniški industriji in lahko zagotavljajo visoko čist, stabilen in zanesljiv dušik, ki izpolnjuje stroge zahteve glede kakovosti in oskrbe s plinom v procesu proizvodnje polprevodnikov.