מחולל חנקן מוליך למחצה

בעת ייצור מוליכים למחצה, בדרך כלל נדרש חנקן בטוהר גבוה כדי להגן על חומרים וציוד מוליכים למחצה. מחולל חנקן הוא מכשיר המשמש לייצור חנקן בטוהר גבוה. הוא משתמש בדרך כלל בטכנולוגיית הפרדת אוויר כדי להפריד חנקן וחמצן באוויר כדי לייצר חנקן בטוהר גבוה.

במהלך תהליך ייצור המוליכים למחצה, מחולל החנקן יכול לספק חנקן יציב וטהור במיוחד כדי להגן על חומרים וציוד של מוליכים למחצה מפני זיהום על ידי חמצן וזיהומים אחרים. זה עוזר להבטיח יציבות ואמינות במהלך תהליך ייצור המוליכים למחצה.

לכן, גנרטורים של חנקן ממלאים תפקיד חשוב בייצור מוליכים למחצה ויכולים לסייע בהבטחת האיכות והביצועים של מוצרי מוליכים למחצה.

צרו קשר

תכונות

ייצור חנקן בטוהר גבוה: מחולל החנקן יכול לייצר חנקן בטוהר גבוה, אשר בדרך כלל יכול להגיע לדרישת טוהר של יותר מ-99.999%, ובכך להבטיח שאיכות הגז בתהליך ייצור המוליכים למחצה תעמוד בדרישות.

אספקת חנקן יציבה: מחולל החנקן יכול לספק אספקת חנקן יציבה כדי להבטיח את היציבות והאמינות של החנקן במהלך תהליך ייצור המוליכים למחצה.

בקרה אוטומטית: לגנרטורים של חנקן יש בדרך כלל מערכות בקרה אוטומטיות שיכולות לנטר ולהתאים את תפוקת החנקן כדי לענות על הצרכים של תנאי תהליך שונים.

יעיל וחסכוני באנרגיה: גנרטורים מודרניים של חנקן מתוכננים בדרך כלל להיות יעילים וחסכוניים באנרגיה, המסוגלים לייצר חנקן בטוהר גבוה תוך הפחתת צריכת האנרגיה ועלויות התפעול.

אמינות ועמידות: גנרטורים של חנקן בדרך כלל בעלי אמינות ועמידות גבוהות, יכולים לפעול ביציבות לאורך זמן ועונים על הצרכים של תהליכי ייצור מוליכים למחצה.

מִפרָט

ייצור חנקן	1-5000 ניוטון מטר/שעה
טוהר חנקן	95%-99.9999%
לחץ חנקן	0.1-1.6MPa (ניתן להתאמה)
נקודת טל חנקן	0~-60℃

זרימת התהליך

מדחס האוויר דוחס את האוויר הגולמי לאוויר בלחץ גבוה, שולח אותו למיכל חיץ האוויר כדי לייצב את הלחץ, ולאחר מכן מסיר עוד לחות, ערפל שמן וכו' דרך המסנן, וקופא ומייבש דרך מייבש קירור כדי להסיר כמות גדולה של לחות, ולאחר מכן נכנס לשלב השלישי. המסנן מסנן עוד חומרים מזיקים, ולאחר מכן האוויר הדחוס הנקי נכנס מתחתית מגדל הספיחה. לאחר שזרימת האוויר מפוזרת דרך התקן פיזור האוויר (ספירלה אוניברסלית או כדור חרסינה), היא נכנסת באופן שווה למגדל הספיחה לספיחת והפרדת חמצן וחנקן, ולאחר מכן יוצאת מקצה היציאה. החנקן זורם החוצה ונכנס למיכל אחסון החנקן. תהליך ייצור החנקן הזה אורך כדקה. לאחר מכן, באמצעות איזון לחץ והפחתת לחץ (ללחץ רגיל), רכיבי הטומאה הספוחים (בעיקר חמצן) מוסרים, והסתיימת התחדשות החומר הספיחה. שני מגדלי הספיחה פועלים במחזורים מתחלפים, מזינים ברציפות אוויר גולמי ומייצרים ברציפות חנקן איכותי.

בַּקָשָׁה

הגנה מפני חנקן: בתהליך ייצור מוליכים למחצה, יש לבצע שלבים רבים בסביבה נטולת חמצן או דלת חמצן כדי למנוע זיהום או חמצון של חומרים על ידי חמצן. גנרטורי חנקן יכולים לספק חנקן בטוהר גבוה כדי להגן על חומרים וציוד מוליכים למחצה ולהבטיח טוהר ויציבות במהלך תהליך הייצור.

שקיעת אדים: בתהליכים של מוליכים למחצה, שקיעת אדים היא טכנולוגיית שקיעת שכבה דקה נפוצה הדורשת שימוש בגזים בעלי טוהר גבוה כדי לספק חומרי שקיעת אדים. מחולל החנקן יכול לספק חנקן בעל טוהר גבוה לבקרת אטמוספירה והגנה במהלך תהליך שקיעת האדים.

ניקוי וייבוש: ניקוי וייבוש הם שלבים חשובים מאוד בייצור מוליכים למחצה, הדורשים שימוש בגז יבש להסרת לחות וזיהומים. גנרטורים של חנקן יכולים לספק חנקן יבש לניקוי וייבוש של ציוד וחומרים של מוליכים למחצה.

ניתוח גז: במהלך תהליך ייצור מוליכים למחצה, יש לנתח ולנטר גזים כדי להבטיח את היציבות והעקביות של תנאי התהליך. מחולל החנקן יכול לספק חנקן בטוהר גבוה לכיול ואספקת גז למכשירי ניתוח גז.

לסיכום, מחוללי חנקן ממלאים תפקיד חשוב בתעשיית המוליכים למחצה ויכולים לספק חנקן בעל טוהר גבוה, יציב ואמין כדי לעמוד בדרישות המחמירות לאיכות ואספקת גז בתהליך ייצור המוליכים למחצה.