Halfgeleider stikstofgenerator

Bij de productie van halfgeleiders is doorgaans stikstof van hoge zuiverheid nodig om de halfgeleidermaterialen en -apparatuur te beschermen. Een stikstofgenerator is een apparaat dat wordt gebruikt om stikstof van hoge zuiverheid te produceren. Deze maakt meestal gebruik van luchtscheidingstechnologie om stikstof en zuurstof in de lucht te scheiden en zo stikstof van hoge zuiverheid te verkrijgen.

Tijdens het productieproces van halfgeleiders kan de stikstofgenerator stabiele, zeer zuivere stikstof leveren om halfgeleidermaterialen en -apparatuur te beschermen tegen verontreiniging door zuurstof en andere onzuiverheden. Dit draagt bij aan de stabiliteit en betrouwbaarheid van het productieproces.

Stikstofgeneratoren spelen daarom een belangrijke rol in de halfgeleiderproductie en kunnen bijdragen aan de kwaliteit en prestaties van halfgeleiderproducten.

Neem contact met ons op

Functies

Productie van zeer zuivere stikstof: De stikstofgenerator kan zeer zuivere stikstof produceren, die doorgaans een zuiverheidsgraad van meer dan 99,999% kan bereiken. Dit garandeert dat de gaskwaliteit in het halfgeleiderproductieproces aan de eisen voldoet.

Stabiele stikstoftoevoer: De stikstofgenerator kan een stabiele stikstoftoevoer leveren om de stabiliteit en betrouwbaarheid van de stikstof tijdens het halfgeleiderproductieproces te garanderen.

Geautomatiseerde regeling: Stikstofgeneratoren beschikken doorgaans over geautomatiseerde regelsystemen die de stikstofafgifte kunnen bewaken en aanpassen aan de behoeften van verschillende procesomstandigheden.

Efficiënt en energiebesparend: Moderne stikstofgeneratoren zijn doorgaans ontworpen om efficiënt en energiezuinig te zijn, en kunnen stikstof van hoge zuiverheid produceren met een lager energieverbruik en lagere bedrijfskosten.

Betrouwbaarheid en duurzaamheid: Stikstofgeneratoren hebben doorgaans een hoge betrouwbaarheid en duurzaamheid, kunnen lange tijd stabiel functioneren en voldoen aan de eisen van halfgeleiderproductieprocessen.

specificatie

Stikstofproductie	1-5000 Nm³/h
Stikstofzuiverheid	95%-99,9999%
Stikstofdruk	0,1-1,6 MPa (instelbaar)
Stikstofdauwpunt	0~-60℃

Processtroom

De luchtcompressor comprimeert de ruwe lucht tot hogedruklucht, stuurt deze naar de luchtbuffertank om de druk te stabiliseren, en verwijdert vervolgens vocht, olienevel, enz. via een filter. Daarna wordt de lucht in een koeldroger gekoeld en ontwaterd om een groot deel van het vocht te verwijderen, waarna deze de derde fase ingaat. Het filter verwijdert verder schadelijke stoffen, waarna de schone perslucht aan de onderkant van de adsorptietoren binnenkomt. Nadat de luchtstroom door een luchtverspreider (universele spiraal of porseleinen kogel) is verspreid, stroomt deze gelijkmatig de adsorptietoren in voor de adsorptie en scheiding van zuurstof en stikstof, en verlaat deze vervolgens via de uitlaat. De stikstof stroomt naar de stikstofopslagtank. Dit stikstofproductieproces duurt ongeveer 1 minuut. Vervolgens worden door drukvereffening en drukverlaging (tot normale druk) de geadsorbeerde onzuiverheden (voornamelijk zuurstof) verwijderd en is de regeneratie van het adsorptiemiddel voltooid. De twee adsorptietorens werken in afwisselende cycli, waarbij continu ruwe lucht wordt aangevoerd en continu gekwalificeerde stikstof wordt geproduceerd.

Sollicitatie

Stikstofbescherming: In het productieproces van halfgeleiders moeten veel stappen worden uitgevoerd in een zuurstofvrije of zuurstofarme omgeving om te voorkomen dat materialen worden verontreinigd of geoxideerd door zuurstof. Stikstofgeneratoren kunnen zeer zuivere stikstof leveren om halfgeleidermaterialen en -apparatuur te beschermen en de zuiverheid en stabiliteit tijdens het productieproces te waarborgen.

Dampafzetting: In halfgeleiderprocessen is dampafzetting een veelgebruikte technologie voor het afzetten van dunne films. Deze technologie vereist het gebruik van zeer zuivere gassen als afzettingsmateriaal. De stikstofgenerator kan zeer zuivere stikstof leveren voor atmosfeerbeheersing en bescherming tijdens het dampafzettingsproces.

Reinigen en drogen: Reinigen en drogen zijn zeer belangrijke stappen in de halfgeleiderproductie. Hiervoor is droog gas nodig om vocht en onzuiverheden te verwijderen. Stikstofgeneratoren kunnen droge stikstof leveren voor het reinigen en drogen van halfgeleiderapparatuur en -materialen.

Gasanalyse: Tijdens het productieproces van halfgeleiders moeten gassen worden geanalyseerd en gecontroleerd om de stabiliteit en consistentie van de procesomstandigheden te waarborgen. De stikstofgenerator kan stikstof van hoge zuiverheid leveren voor de kalibratie en gastoevoer van gasanalyse-instrumenten.

Samenvattend spelen stikstofgeneratoren een belangrijke rol in de halfgeleiderindustrie en kunnen ze zorgen voor zeer zuivere, stabiele en betrouwbare stikstof om te voldoen aan de strenge eisen voor gaskwaliteit en -levering in het halfgeleiderproductieproces.