Polovodičový generátor dusíku

Při výrobě polovodičů je obvykle k ochraně polovodičových materiálů a zařízení nutný vysoce čistý dusík. Generátor dusíku je zařízení používané k výrobě vysoce čistého dusíku. Obvykle využívá technologii separace vzduchu k oddělení dusíku a kyslíku ve vzduchu za účelem výroby vysoce čistého dusíku.

Během procesu výroby polovodičů může generátor dusíku poskytovat stabilní a vysoce čistý dusík, který chrání polovodičové materiály a zařízení před kontaminací kyslíkem a dalšími nečistotami. To pomáhá zajistit stabilitu a spolehlivost během procesu výroby polovodičů.

Generátory dusíku proto hrají důležitou roli ve výrobě polovodičů a mohou pomoci zajistit kvalitu a výkon polovodičových produktů.

Kontaktujte nás

Funkce

Výroba vysoce čistého dusíku: Generátor dusíku dokáže vyrábět vysoce čistý dusík, který obvykle dosahuje požadované čistoty více než 99,999 %, což zajišťuje, že kvalita plynu v procesu výroby polovodičů splňuje požadavky.

Stabilní dodávka dusíku: Generátor dusíku může zajistit stabilní dodávku dusíku, aby byla zajištěna stabilita a spolehlivost dusíku během procesu výroby polovodičů.

Automatizované řízení: Generátory dusíku mají obvykle automatizované řídicí systémy, které dokáží monitorovat a upravovat výstup dusíku tak, aby splňovaly potřeby různých procesních podmínek.

Efektivní a energeticky úsporné: Moderní generátory dusíku jsou obvykle navrženy tak, aby byly efektivní a energeticky úsporné, schopné produkovat vysoce čistý dusík a zároveň snižovat spotřebu energie a provozní náklady.

Spolehlivost a trvanlivost: Generátory dusíku mají obvykle vysokou spolehlivost a trvanlivost, mohou stabilně fungovat po dlouhou dobu a splňují potřeby procesů výroby polovodičů.

specifikace

Produkce dusíku	1–5 000 Nm³/h
Čistota dusíku	95 %–99,9999 %
Tlak dusíku	0,1–1,6 MPa (nastavitelné)
Rosný bod dusíku	0~-60℃

Tok procesu

Vzduchový kompresor stlačuje surový vzduch na vysokotlaký vzduch, posílá ho do vyrovnávací vzduchové nádrže, kde stabilizuje tlak, a poté filtrem dále odstraňuje vlhkost, olejovou mlhu atd. V chladicí sušičce jej zmrazuje a dehydratuje, čímž odstraňuje velké množství vlhkosti, a poté vstupuje do třetího stupně. Filtr dále filtruje škodlivé látky a čistý stlačený vzduch pak vstupuje ze spodní části adsorpční věže. Poté, co je proud vzduchu rozptýlen zařízením pro difuzi vzduchu (univerzální spirála nebo porcelánová koule), rovnoměrně vstupuje do adsorpční věže, kde dochází k adsorpci a oddělení kyslíku a dusíku, a poté vystupuje výstupním koncem. Dusík proudí ven a vstupuje do zásobníku dusíku. Tento proces výroby dusíku trvá přibližně 1 minutu. Poté se vyrovnáním tlaku a snížením tlaku (na normální tlak) odstraní adsorbované nečistoty (zejména kyslík) a regenerace adsorbentu je dokončena. Dvě adsorpční věže pracují ve střídavých cyklech, nepřetržitě přivádějí surový vzduch a nepřetržitě produkují kvalifikovaný dusík.

Aplikace

Ochrana dusíkem: V procesu výroby polovodičů je třeba provádět mnoho kroků v prostředí bez kyslíku nebo s nízkým obsahem kyslíku, aby se zabránilo kontaminaci nebo oxidaci materiálů kyslíkem. Generátory dusíku mohou poskytovat vysoce čistý dusík k ochraně polovodičových materiálů a zařízení a k zajištění čistoty a stability během výrobního procesu.

Depozice z plynné fáze: V polovodičových procesech je depozice z plynné fáze běžnou technologií nanášení tenkých vrstev, která vyžaduje použití vysoce čistých plynů k zajištění depozičních materiálů. Generátor dusíku může během procesu depozice z plynné fáze poskytovat vysoce čistý dusík pro kontrolu a ochranu atmosféry.

Čištění a sušení: Čištění a sušení jsou velmi důležité kroky ve výrobě polovodičů, které vyžadují použití suchého plynu k odstranění vlhkosti a nečistot. Generátory dusíku mohou poskytovat suchý dusík pro čištění a sušení polovodičových zařízení a materiálů.

Analýza plynů: Během procesu výroby polovodičů je třeba analyzovat a monitorovat plyny, aby byla zajištěna stabilita a konzistence procesních podmínek. Generátor dusíku může poskytovat vysoce čistý dusík pro kalibraci a dodávku plynu do přístrojů pro analýzu plynů.

Stručně řečeno, generátory dusíku hrají důležitou roli v polovodičovém průmyslu a mohou poskytovat vysoce čistý, stabilní a spolehlivý dusík, který splňuje přísné požadavky na kvalitu a dodávku plynu v procesu výroby polovodičů.