Generatore di azoto a semiconduttore

Nella produzione di semiconduttori, l'azoto ad elevata purezza è solitamente richiesto per proteggere i materiali e le apparecchiature semiconduttori. Un generatore di azoto è un dispositivo utilizzato per produrre azoto ad elevata purezza. Solitamente utilizza la tecnologia di separazione dell'aria per separare l'azoto dall'ossigeno presente nell'aria e produrre azoto ad elevata purezza.

Durante il processo di produzione dei semiconduttori, il generatore di azoto può fornire azoto stabile ad alta purezza per proteggere i materiali semiconduttori e le apparecchiature dalla contaminazione da ossigeno e altre impurità. Ciò contribuisce a garantire stabilità e affidabilità durante il processo di produzione dei semiconduttori.

Pertanto, i generatori di azoto svolgono un ruolo importante nella produzione di semiconduttori e possono contribuire a garantire la qualità e le prestazioni dei prodotti semiconduttori.

Contattaci

Caratteristiche

Produzione di azoto ad alta purezza: il generatore di azoto può produrre azoto ad alta purezza, che solitamente può raggiungere il requisito di purezza superiore al 99,999%, garantendo che la qualità del gas nel processo di produzione dei semiconduttori soddisfi i requisiti.

Fornitura stabile di azoto: il generatore di azoto può fornire una fornitura stabile di azoto per garantire la stabilità e l'affidabilità dell'azoto durante il processo di produzione dei semiconduttori.

Controllo automatizzato: i generatori di azoto sono solitamente dotati di sistemi di controllo automatizzati in grado di monitorare e regolare la produzione di azoto per soddisfare le esigenze delle diverse condizioni di processo.

Efficiente e a risparmio energetico: i moderni generatori di azoto sono solitamente progettati per essere efficienti e a risparmio energetico, in grado di produrre azoto ad elevata purezza riducendo al contempo il consumo energetico e i costi operativi.

Affidabilità e durata: i generatori di azoto sono solitamente caratterizzati da elevata affidabilità e durata, possono funzionare stabilmente per lungo tempo e soddisfare le esigenze dei processi di produzione dei semiconduttori.

specificazione

produzione di azoto	1-5000Nm³/h
Purezza dell'azoto	95%-99,9999%
Pressione dell'azoto	0,1-1,6 MPa (regolabile)
Punto di rugiada dell'azoto	0~-60℃

Flusso di processo

Il compressore d'aria comprime l'aria grezza in aria ad alta pressione, la invia al serbatoio di accumulo dell'aria per stabilizzarne la pressione, quindi rimuove ulteriormente umidità, nebbia d'olio, ecc. attraverso il filtro, quindi la congela e la disidrata attraverso l'essiccatore refrigerato per rimuovere una grande quantità di umidità, per poi entrare nel terzo stadio. Il filtro filtra ulteriormente le sostanze nocive, quindi l'aria compressa pulita entra dal fondo della torre di adsorbimento. Dopo essere stato diffuso attraverso il dispositivo di diffusione dell'aria (spirale universale o sfera di porcellana), il flusso d'aria entra uniformemente nella torre di adsorbimento per l'adsorbimento e la separazione di ossigeno e azoto, per poi uscire dall'estremità di uscita. L'azoto fuoriesce ed entra nel serbatoio di stoccaggio dell'azoto. Questo processo di produzione di azoto dura circa 1 minuto. Successivamente, attraverso l'equalizzazione della pressione e la riduzione della pressione (a pressione normale), le impurità adsorbite (principalmente ossigeno) vengono rimosse e la rigenerazione dell'adsorbente è completata. Le due torri di adsorbimento funzionano a cicli alternati, alimentando continuamente aria grezza e producendo continuamente azoto qualificato.

Applicazione

Protezione con azoto: nel processo di produzione dei semiconduttori, molte fasi devono essere eseguite in un ambiente privo di ossigeno o a basso contenuto di ossigeno per evitare che i materiali vengano contaminati o ossidati dall'ossigeno. I generatori di azoto possono fornire azoto ad alta purezza per proteggere i materiali semiconduttori e le apparecchiature e garantire purezza e stabilità durante il processo di produzione.

Deposizione da vapore: nei processi di deposizione dei semiconduttori, la deposizione da vapore è una comune tecnologia di deposizione di film sottili che richiede l'uso di gas ad elevata purezza per fornire materiali di deposizione. Il generatore di azoto può fornire azoto ad elevata purezza per il controllo e la protezione dell'atmosfera durante il processo di deposizione da vapore.

Pulizia e asciugatura: la pulizia e l'asciugatura sono fasi molto importanti nella produzione di semiconduttori e richiedono l'uso di gas secco per rimuovere umidità e impurità. I generatori di azoto possono fornire azoto secco per la pulizia e l'asciugatura di apparecchiature e materiali semiconduttori.

Analisi dei gas: durante il processo di produzione dei semiconduttori, i gas devono essere analizzati e monitorati per garantire la stabilità e la coerenza delle condizioni di processo. Il generatore di azoto può fornire azoto ad alta purezza per la calibrazione e l'alimentazione degli strumenti di analisi dei gas.

Riassumendo, i generatori di azoto svolgono un ruolo importante nel settore dei semiconduttori e possono fornire azoto ad alta purezza, stabile e affidabile per soddisfare i severi requisiti di qualità e fornitura del gas nel processo di produzione dei semiconduttori.