Полупроводниковый генератор азота

При производстве полупроводников обычно требуется азот высокой чистоты для защиты полупроводниковых материалов и оборудования. Генератор азота — это устройство, используемое для производства азота высокой чистоты. Обычно в нем используется технология разделения воздуха для отделения азота от кислорода в воздухе с целью получения азота высокой чистоты.

В процессе производства полупроводников генератор азота обеспечивает подачу стабильного азота высокой чистоты, защищая полупроводниковые материалы и оборудование от загрязнения кислородом и другими примесями. Это способствует обеспечению стабильности и надежности в процессе производства полупроводников.

Таким образом, генераторы азота играют важную роль в производстве полупроводников и могут помочь обеспечить качество и производительность полупроводниковой продукции.

Связаться с нами

Функции

Производство азота высокой чистоты: генератор азота способен производить азот высокой чистоты, который обычно соответствует требованиям чистоты более 99,999%, обеспечивая соответствие качества газа в процессе производства полупроводников необходимым стандартам.

Стабильная подача азота: генератор азота обеспечивает стабильную подачу азота, гарантируя стабильность и надежность азота в процессе производства полупроводников.

Автоматизированное управление: генераторы азота обычно оснащены автоматизированными системами управления, которые могут контролировать и регулировать выработку азота в соответствии с потребностями различных технологических условий.

Эффективность и энергосбережение: Современные генераторы азота, как правило, проектируются с учетом эффективности и энергосбережения, способны производить азот высокой чистоты, одновременно снижая энергопотребление и эксплуатационные расходы.

Надежность и долговечность: генераторы азота, как правило, отличаются высокой надежностью и долговечностью, могут стабильно работать в течение длительного времени и отвечают потребностям процессов производства полупроводников.

спецификация

Производство азота	1-5000 Нм³/ч
чистота азота	95%-99,9999%
Давление азота	0,1-1,6 МПа (регулируемое значение)
точка росы азота	0~-60℃

Технологический процесс

Воздушный компрессор сжимает исходный воздух до высокого давления, направляет его в буферный резервуар для стабилизации давления, затем через фильтр удаляет влагу, масляный туман и т. д., после чего в холодильной осушительной установке происходит замораживание и обезвоживание, удаляется большое количество влаги, и затем воздух поступает на третью ступень. Фильтр дополнительно фильтрует вредные вещества, после чего чистый сжатый воздух поступает снизу в адсорбционную башню. После прохождения воздушного потока через устройство для диффузии воздуха (универсальная спираль или фарфоровый шар) он равномерно поступает в адсорбционную башню для адсорбции и разделения кислорода и азота, а затем выходит через выходной патрубок. Азот выходит и поступает в резервуар для хранения азота. Этот процесс производства азота занимает около 1 минуты. Затем, путем выравнивания и снижения давления (до нормального давления), удаляются адсорбированные примеси (в основном кислород), и завершается регенерация адсорбента. Две адсорбционные башни работают в чередующемся цикле, непрерывно подавая исходный воздух и непрерывно производя качественный азот.

Приложение

Защита азотом: В процессе производства полупроводников многие этапы необходимо выполнять в бескислородной или слабокислородной среде, чтобы предотвратить загрязнение или окисление материалов кислородом. Генераторы азота могут обеспечивать подачу азота высокой чистоты для защиты полупроводниковых материалов и оборудования, а также для обеспечения чистоты и стабильности в процессе производства.

Осаждение из паровой фазы: В полупроводниковых процессах осаждение из паровой фазы является распространенной технологией нанесения тонких пленок, требующей использования газов высокой чистоты для обеспечения осаждаемых материалов. Генератор азота может обеспечивать подачу азота высокой чистоты для контроля и защиты атмосферы в процессе осаждения из паровой фазы.

Очистка и сушка: Очистка и сушка являются очень важными этапами в производстве полупроводников, требующими использования сухого газа для удаления влаги и примесей. Генераторы азота могут обеспечивать подачу сухого азота для очистки и сушки полупроводникового оборудования и материалов.

Анализ газов: В процессе производства полупроводников необходимо анализировать и контролировать газы для обеспечения стабильности и постоянства технологических условий. Генератор азота может обеспечивать подачу высокочистого азота для калибровки и газоанализаторов.

В заключение следует отметить, что генераторы азота играют важную роль в полупроводниковой промышленности и могут обеспечивать высокочистый, стабильный и надежный азот, отвечающий строгим требованиям к качеству и подаче газа в процессе производства полупроводников.