Poluvodički generator dušika

Prilikom proizvodnje poluvodiča, obično je potreban dušik visoke čistoće za zaštitu poluvodičkih materijala i opreme. Generator dušika je uređaj koji se koristi za proizvodnju dušika visoke čistoće. Obično koristi tehnologiju odvajanja zraka za odvajanje dušika i kisika u zraku radi proizvodnje dušika visoke čistoće.

Tijekom procesa proizvodnje poluvodiča, generator dušika može osigurati stabilan dušik visoke čistoće kako bi zaštitio poluvodičke materijale i opremu od kontaminacije kisikom i drugim nečistoćama. To pomaže u osiguravanju stabilnosti i pouzdanosti tijekom procesa proizvodnje poluvodiča.

Stoga generatori dušika igraju važnu ulogu u proizvodnji poluvodiča i mogu pomoći u osiguravanju kvalitete i performansi poluvodičkih proizvoda.

Kontaktirajte nas

Značajke

Proizvodnja dušika visoke čistoće: Generator dušika može proizvesti dušik visoke čistoće, koji obično može postići zahtjev za čistoću od preko 99,999%, osiguravajući da kvaliteta plina u procesu proizvodnje poluvodiča zadovoljava zahtjeve.

Stabilna opskrba dušikom: Generator dušika može osigurati stabilnu opskrbu dušikom kako bi se osigurala stabilnost i pouzdanost dušika tijekom procesa proizvodnje poluvodiča.

Automatizirano upravljanje: Generatori dušika obično imaju automatizirane sustave upravljanja koji mogu pratiti i prilagođavati izlaz dušika kako bi zadovoljili potrebe različitih procesnih uvjeta.

Učinkoviti i energetski štedljivi: Moderni generatori dušika obično su dizajnirani da budu učinkoviti i energetski štedljivi, sposobni proizvoditi dušik visoke čistoće uz smanjenje potrošnje energije i operativnih troškova.

Pouzdanost i trajnost: Generatori dušika obično imaju visoku pouzdanost i trajnost, mogu stabilno raditi dugo vremena i zadovoljavaju potrebe procesa proizvodnje poluvodiča.

specifikacija

Proizvodnja dušika	1-5000 Nm³/h
Čistoća dušika	95%-99,9999%
Tlak dušika	0,1-1,6 MPa (podesivo)
Točka rosišta dušika	0~-60℃

Tijek procesa

Zračni kompresor komprimira sirovi zrak u zrak visokog tlaka, šalje ga u spremnik zraka radi stabilizacije tlaka, a zatim dodatno uklanja vlagu, uljnu maglu itd. kroz filter, te se smrzava i dehidrira kroz rashladni sušač kako bi se uklonila velika količina vlage, a zatim ulazi u treću fazu. Filter dalje filtrira štetne tvari, a zatim čisti komprimirani zrak ulazi s dna adsorpcijskog tornja. Nakon što se protok zraka rasprši kroz uređaj za difuziju zraka (univerzalna spirala ili porculanska kugla), ravnomjerno ulazi u adsorpcijski toranj radi adsorpcije i odvajanja kisika i dušika, a zatim izlazi na izlaznom kraju. Dušik istječe i ulazi u spremnik dušika. Ovaj proces proizvodnje dušika traje oko 1 minutu. Nakon toga, izjednačavanjem tlaka i smanjenjem tlaka (na normalni tlak), uklanjaju se adsorbirane komponente nečistoća (uglavnom kisik) i dovršava se regeneracija adsorbenta. Dva adsorpcijska tornja rade u naizmjeničnim ciklusima, kontinuirano dovodeći sirovi zrak i kontinuirano proizvodeći kvalificirani dušik.

Primjena

Zaštita dušikom: U procesu proizvodnje poluvodiča, mnogi se koraci moraju izvoditi u okruženju bez kisika ili s niskim udjelom kisika kako bi se spriječila kontaminacija ili oksidacija materijala kisikom. Generatori dušika mogu osigurati dušik visoke čistoće za zaštitu poluvodičkih materijala i opreme te osigurati čistoću i stabilnost tijekom proizvodnog procesa.

Taloženje iz pare: U poluvodičkim procesima, taloženje iz pare je uobičajena tehnologija taloženja tankih filmova koja zahtijeva upotrebu plinova visoke čistoće za dobivanje materijala za taloženje. Generator dušika može osigurati dušik visoke čistoće za kontrolu i zaštitu atmosfere tijekom procesa taloženja iz pare.

Čišćenje i sušenje: Čišćenje i sušenje vrlo su važni koraci u proizvodnji poluvodiča, koji zahtijevaju upotrebu suhog plina za uklanjanje vlage i nečistoća. Generatori dušika mogu osigurati suhi dušik za čišćenje i sušenje poluvodičke opreme i materijala.

Analiza plina: Tijekom procesa proizvodnje poluvodiča, plinove je potrebno analizirati i pratiti kako bi se osigurala stabilnost i konzistentnost procesnih uvjeta. Generator dušika može osigurati dušik visoke čistoće za kalibraciju i opskrbu plinom instrumenata za analizu plina.

Ukratko, generatori dušika igraju važnu ulogu u industriji poluvodiča i mogu osigurati visokočisti, stabilan i pouzdan dušik kako bi se zadovoljili strogi zahtjevi za kvalitetom i opskrbom plinom u procesu proizvodnje poluvodiča.