Yarımkeçirici azot generatoru

Yarımkeçiricilər istehsal edərkən, adətən yarımkeçirici materialları və avadanlıqları qorumaq üçün yüksək təmizlikli azot tələb olunur. Azot generatoru yüksək təmizlikli azot istehsal etmək üçün istifadə olunan bir cihazdır. Adətən yüksək təmizlikli azot istehsal etmək üçün havadakı azot və oksigeni ayırmaq üçün hava ayırma texnologiyasından istifadə edir.

Yarımkeçirici istehsal prosesi zamanı azot generatoru yarımkeçirici materialları və avadanlıqları oksigen və digər çirkləndiricilərlə çirklənmədən qorumaq üçün sabit yüksək təmizlikli azot təmin edə bilər. Bu, yarımkeçirici istehsal prosesi zamanı sabitliyi və etibarlılığı təmin etməyə kömək edir.

Buna görə də, azot generatorları yarımkeçirici istehsalında mühüm rol oynayır və yarımkeçirici məhsulların keyfiyyətini və performansını təmin etməyə kömək edə bilər.

Bizimlə əlaqə saxlayın

Xüsusiyyətlər

Yüksək təmizlikli azot istehsalı: Azot generatoru, yarımkeçirici istehsal prosesindəki qaz keyfiyyətinin tələblərə cavab verdiyini təmin edərək, adətən 99.999%-dən çox təmizlik tələbinə çata bilən yüksək təmizlikli azot istehsal edə bilər.

Sabit azot təchizatı: Azot generatoru yarımkeçirici istehsal prosesi zamanı azotun sabitliyini və etibarlılığını təmin etmək üçün sabit azot təchizatı təmin edə bilər.

Avtomatlaşdırılmış idarəetmə: Azot generatorları adətən müxtəlif proses şəraitinin ehtiyaclarını ödəmək üçün azot çıxışını izləyə və tənzimləyə bilən avtomatlaşdırılmış idarəetmə sistemlərinə malikdir.

Səmərəli və enerjiyə qənaət edən: Müasir azot generatorları adətən səmərəli və enerjiyə qənaət edən, enerji istehlakını və istismar xərclərini azaldarkən yüksək təmizlikli azot istehsal edə bilən şəkildə hazırlanmışdır.

Etibarlılıq və davamlılıq: Azot generatorları adətən yüksək etibarlılığa və davamlılığa malikdir, uzun müddət sabit işləyə bilər və yarımkeçirici istehsal proseslərinin ehtiyaclarını ödəyir.

spesifikasiya

Azot istehsalı	1-5000Nm³/saat
Azot saflığı	95%-99.9999%
Azot təzyiqi	0.1-1.6MPa (Tənzimlənən)
Azot şeh nöqtəsi	0~-60℃

Proses axını

Hava kompressoru xam havanı yüksək təzyiqli havaya sıxır, təzyiqi sabitləşdirmək üçün hava bufer çəninə göndərir və sonra filtrdən nəmi, yağ dumanını və s. daha da təmizləyir, soyuducu quruducudan dondurur və qurudur ki, çox miqdarda nəmliyi çıxarsın və sonra üçüncü mərhələyə keçir. Filtr zərərli maddələri daha da süzür və sonra təmiz sıxılmış hava adsorbsiya qülləsinin dibindən daxil olur. Hava axını hava diffuziya cihazı (universal spiral və ya çini top) vasitəsilə yayıldıqdan sonra oksigen və azotun adsorbsiyası və ayrılması üçün adsorbsiya qülləsinə bərabər şəkildə daxil olur və sonra çıxış ucundan çıxır. Azot axır və azot saxlama çəninə daxil olur. Bu azot istehsal prosesi təxminən 1 dəqiqə çəkir. Daha sonra təzyiqin bərabərləşdirilməsi və təzyiqin azaldılması (normal təzyiqə qədər) vasitəsilə adsorbsiya olunmuş çirk komponentləri (əsasən oksigen) çıxarılır və adsorbentin regenerasiyası tamamlanır. İki adsorbsiya qülləsi alternativ dövrlərdə işləyir, davamlı olaraq xam havanı qidalandırır və davamlı olaraq keyfiyyətli azot istehsal edir.

Tətbiq

Azot mühafizəsi: Yarımkeçirici istehsal prosesində, materialların oksigenlə çirklənməsinin və ya oksidləşməsinin qarşısını almaq üçün oksigensiz və ya az oksigenli mühitdə bir çox addımlar yerinə yetirilməlidir. Azot generatorları yarımkeçirici materialları və avadanlıqları qorumaq və istehsal prosesi zamanı təmizliyi və sabitliyi təmin etmək üçün yüksək təmizlikli azot təmin edə bilər.

Buxar çöküntüsü: Yarımkeçirici proseslərdə buxar çöküntüsü, çöküntü materialları təmin etmək üçün yüksək təmizlikli qazların istifadəsini tələb edən geniş yayılmış nazik təbəqə çöküntü texnologiyasıdır. Azot generatoru buxar çöküntüsü prosesi zamanı atmosferə nəzarət və qoruma üçün yüksək təmizlikli azot təmin edə bilər.

Təmizləmə və qurutma: Təmizləmə və qurutma yarımkeçirici istehsalında çox vacib addımlardır və nəm və çirkləri təmizləmək üçün quru qazın istifadəsini tələb edir. Azot generatorları yarımkeçirici avadanlıq və materialları təmizləmək və qurutmaq üçün quru azot təmin edə bilər.

Qaz Təhlili: Yarımkeçirici istehsal prosesi zamanı proses şəraitinin sabitliyini və ardıcıllığını təmin etmək üçün qazlar təhlil edilməli və izlənilməlidir. Azot generatoru qaz analiz cihazlarının kalibrlənməsi və qaz təchizatı üçün yüksək təmizlikli azot təmin edə bilər.

Xülasə, azot generatorları yarımkeçirici sənayesində mühüm rol oynayır və yarımkeçirici istehsal prosesində qaz keyfiyyəti və təchizatı üçün ciddi tələblərə cavab vermək üçün yüksək təmizlikli, sabit və etibarlı azot təmin edə bilər.