Penjana nitrogen semikonduktor

Apabila mengeluarkan semikonduktor, nitrogen berketulenan tinggi biasanya diperlukan untuk melindungi bahan dan peralatan semikonduktor. Penjana nitrogen ialah peranti yang digunakan untuk menghasilkan nitrogen berketulenan tinggi. Ia biasanya menggunakan teknologi pemisahan udara untuk mengasingkan nitrogen dan oksigen di udara bagi menghasilkan nitrogen berketulenan tinggi.

Semasa proses pembuatan semikonduktor, penjana nitrogen boleh membekalkan nitrogen berketulenan tinggi yang stabil untuk melindungi bahan dan peralatan semikonduktor daripada pencemaran oleh oksigen dan bendasing lain. Ini membantu memastikan kestabilan dan kebolehpercayaan semasa proses pembuatan semikonduktor.

Oleh itu, penjana nitrogen memainkan peranan penting dalam pembuatan semikonduktor dan boleh membantu memastikan kualiti dan prestasi produk semikonduktor.

Hubungi kami

Ciri-ciri

Pengeluaran nitrogen ketulenan tinggi: Penjana nitrogen boleh menghasilkan nitrogen ketulenan tinggi, yang biasanya boleh mencapai keperluan ketulenan lebih daripada 99.999%, memastikan kualiti gas dalam proses pembuatan semikonduktor memenuhi keperluan.

Bekalan nitrogen yang stabil: Penjana nitrogen boleh menyediakan bekalan nitrogen yang stabil untuk memastikan kestabilan dan kebolehpercayaan nitrogen semasa proses pembuatan semikonduktor.

Kawalan automatik: Penjana nitrogen biasanya mempunyai sistem kawalan automatik yang boleh memantau dan melaraskan output nitrogen untuk memenuhi keperluan keadaan proses yang berbeza.

Cekap dan jimat tenaga: Penjana nitrogen moden biasanya direka bentuk untuk menjadi cekap dan jimat tenaga, mampu menghasilkan nitrogen berketulenan tinggi sambil mengurangkan penggunaan tenaga dan kos operasi.

Kebolehpercayaan dan ketahanan: Penjana nitrogen biasanya mempunyai kebolehpercayaan dan ketahanan yang tinggi, boleh beroperasi secara stabil untuk jangka masa yang lama, dan memenuhi keperluan proses pembuatan semikonduktor.

spesifikasi

Pengeluaran nitrogen	1-5000Nm³/j
Ketulenan nitrogen	95%-99.9999%
Tekanan nitrogen	0.1-1.6MPa (Boleh Laras)
Takat embun nitrogen	0~-60℃

Aliran proses

Pemampat udara memampatkan udara mentah ke dalam udara bertekanan tinggi, menghantarnya ke tangki penimbal udara untuk menstabilkan tekanan, dan kemudian menyingkirkan kelembapan, kabus minyak, dan sebagainya melalui penapis, dan membekukan serta mengeringkan melalui pengering sejuk untuk menyingkirkan sejumlah besar kelembapan, dan kemudian memasuki peringkat ketiga. Penapis menapis selanjutnya bahan berbahaya, dan kemudian udara termampat bersih masuk dari bahagian bawah menara penjerapan. Selepas aliran udara meresap melalui peranti penyebaran udara (lingkaran universal atau bola porselin), ia memasuki menara penjerapan secara sekata untuk penjerapan dan pemisahan oksigen dan nitrogen, dan kemudian keluar dari hujung saluran keluar. Nitrogen mengalir keluar dan memasuki tangki simpanan nitrogen. Proses pengeluaran nitrogen ini mengambil masa kira-kira 1 minit. Selepas itu, melalui penyamaan tekanan dan pengurangan tekanan (kepada tekanan normal), komponen bendasing yang terserap (terutamanya oksigen) dikeluarkan, dan penjanaan semula penjerap selesai. Kedua-dua menara penjerapan beroperasi dalam kitaran berselang-seli, terus membekalkan udara mentah, dan terus menghasilkan nitrogen yang berkelayakan.

Permohonan

Perlindungan nitrogen: Dalam proses pembuatan semikonduktor, banyak langkah perlu dilakukan dalam persekitaran bebas oksigen atau rendah oksigen untuk mengelakkan bahan daripada tercemar atau teroksida oleh oksigen. Penjana nitrogen boleh menyediakan nitrogen berketulenan tinggi untuk melindungi bahan dan peralatan semikonduktor serta memastikan ketulenan dan kestabilan semasa proses pembuatan.

Pemendapan wap: Dalam proses semikonduktor, pemendapan wap ialah teknologi pemendapan filem nipis biasa yang memerlukan penggunaan gas berketulenan tinggi untuk menyediakan bahan pemendapan. Penjana nitrogen boleh menyediakan nitrogen berketulenan tinggi untuk kawalan dan perlindungan atmosfera semasa proses pemendapan wap.

Pembersihan dan pengeringan: Pembersihan dan pengeringan merupakan langkah yang sangat penting dalam pembuatan semikonduktor, yang memerlukan penggunaan gas kering untuk menghilangkan kelembapan dan bendasing. Penjana nitrogen boleh membekalkan nitrogen kering untuk membersihkan dan mengeringkan peralatan dan bahan semikonduktor.

Analisis Gas: Semasa proses pembuatan semikonduktor, gas perlu dianalisis dan dipantau untuk memastikan kestabilan dan konsistensi keadaan proses. Penjana nitrogen boleh menyediakan nitrogen berketulenan tinggi untuk penentukuran dan bekalan gas bagi instrumen analisis gas.

Secara ringkasnya, penjana nitrogen memainkan peranan penting dalam industri semikonduktor dan boleh menyediakan nitrogen yang berketulenan tinggi, stabil dan boleh dipercayai untuk memenuhi keperluan ketat untuk kualiti dan bekalan gas dalam proses pembuatan semikonduktor.