Паўправадніковы генератар азоту

Пры вытворчасці паўправаднікоў звычайна патрабуецца азот высокай чысціні для абароны паўправадніковых матэрыялаў і абсталявання. Генератар азоту — гэта прылада, якая выкарыстоўваецца для атрымання азоту высокай чысціні. Звычайна ў ім выкарыстоўваецца тэхналогія падзелу паветра для аддзялення азоту і кіслароду ў паветры для атрымання азоту высокай чысціні.

Падчас вытворчасці паўправаднікоў генератар азоту можа забяспечваць стабільную падачу высокачыстага азоту для абароны паўправадніковых матэрыялаў і абсталявання ад забруджвання кіслародам і іншымі прымешкамі. Гэта дапамагае забяспечыць стабільнасць і надзейнасць падчас працэсу вытворчасці паўправаднікоў.

Такім чынам, генератары азоту адыгрываюць важную ролю ў вытворчасці паўправаднікоў і могуць дапамагчы забяспечыць якасць і прадукцыйнасць паўправадніковых вырабаў.

Звяжыцеся з намі

Асаблівасці

Вытворчасць азоту высокай чысціні: генератар азоту можа вырабляць азот высокай чысціні, які звычайна дасягае патрабаванняў па чысціні больш за 99,999%, што гарантуе адпаведнасць якасці газу ў працэсе вытворчасці паўправаднікоў патрабаванням.

Стабільная падача азоту: Генератар азоту можа забяспечыць стабільную падачу азоту, каб гарантаваць стабільнасць і надзейнасць азоту падчас працэсу вытворчасці паўправаднікоў.

Аўтаматызаванае кіраванне: генератары азоту звычайна маюць аўтаматызаваныя сістэмы кіравання, якія могуць кантраляваць і рэгуляваць выхад азоту ў адпаведнасці з патрэбамі розных умоў працэсу.

Эфектыўныя і энергазберагальныя: сучасныя генератары азоту звычайна распрацаваны эфектыўнымі і энергазберагальнымі, здольнымі вырабляць азот высокай чысціні, адначасова зніжаючы спажыванне энергіі і эксплуатацыйныя выдаткі.

Надзейнасць і даўгавечнасць: генератары азоту звычайна маюць высокую надзейнасць і даўгавечнасць, могуць стабільна працаваць працяглы час і адпавядаюць патрэбам працэсаў вытворчасці паўправаднікоў.

спецыфікацыя

Вытворчасць азоту	1-5000 Нм³/г
Чысціня азоту	95%-99,9999%
Ціск азоту	0,1-1,6 МПа (рэгуляваны)
Кропка расы азоту	0~-60℃

Паток працэсу

Паветраны кампрэсар сціскае неапрацаванае паветра да паветра высокага ціску, адпраўляе яго ў буферны рэзервуар для стабілізацыі ціску, а затым дадаткова выдаляе вільгаць, алейны туман і г.д. праз фільтр, замарожвае і абязводжвае праз халадзільную сушылку для выдалення вялікай колькасці вільгаці, а затым пераходзіць на трэці этап. Фільтр далей фільтруе шкодныя рэчывы, і затым чыстае сціснутае паветра паступае з ніжняй часткі адсарбцыйнай вежы. Пасля таго, як паветраны паток рассейваецца праз прыладу для дыфузіі паветра (універсальную спіраль або фарфоравы шар), ён раўнамерна паступае ў адсарбцыйную вежу для адсарбцыі і падзелу кіслароду і азоту, а затым выходзіць праз выхадны канец. Азот выцякае і паступае ў рэзервуар для захоўвання азоту. Гэты працэс вытворчасці азоту займае каля 1 хвіліны. Пасля гэтага, шляхам выраўноўвання ціску і зніжэння ціску (да нармальнага), адсарбаваныя кампаненты прымешак (у асноўным кісларод) выдаляюцца, і рэгенерацыя адсарбенту завяршаецца. Дзве адсарбцыйныя вежы працуюць у чаргуючыхся цыклах, бесперапынна падаючы неапрацаванае паветра і бесперапынна вырабляючы якасны азот.

Прыкладанне

Абарона ад азоту: У працэсе вытворчасці паўправаднікоў многія этапы неабходна выконваць у асяроддзі без кіслароду або з нізкім утрыманнем кіслароду, каб прадухіліць забруджванне або акісленне матэрыялаў кіслародам. Генератары азоту могуць забяспечваць высакаякасны азот для абароны паўправадніковых матэрыялаў і абсталявання, а таксама забяспечваць чысціню і стабільнасць падчас вытворчага працэсу.

Асаджэнне з паравой фазы: У паўправадніковых працэсах асаджэнне з паравой фазы — гэта распаўсюджаная тэхналогія нанясення тонкіх плёнак, якая патрабуе выкарыстання высакаякасных газаў для атрымання матэрыялаў для асаджэння. Генератар азоту можа падаваць высакаякасны азот для кантролю і абароны атмасферы падчас працэсу асаджэння з паравой фазы.

Ачыстка і сушка: Ачыстка і сушка з'яўляюцца вельмі важнымі этапамі ў вытворчасці паўправаднікоў, якія патрабуюць выкарыстання сухога газу для выдалення вільгаці і прымешак. Генератары азоту могуць забяспечваць сухі азот для ачысткі і сушкі паўправадніковага абсталявання і матэрыялаў.

Аналіз газу: Падчас вытворчасці паўправаднікоў неабходна аналізаваць і кантраляваць газы, каб забяспечыць стабільнасць і паслядоўнасць умоў працэсу. Генератар азоту можа забяспечваць высакаякасны азот для каліброўкі і падачы газу ў прыборы для аналізу газу.

Карацей кажучы, генератары азоту адыгрываюць важную ролю ў паўправадніковай прамысловасці і могуць забяспечваць высакаякасны, стабільны і надзейны азот, які адпавядае строгім патрабаванням да якасці і падачы газу ў працэсе вытворчасці паўправаднікоў.