반도체 질소 발생기

공기 압축기는 원공기를 고압으로 압축하여 공기 완충 탱크로 보내 압력을 안정화시킨 후, 필터를 통해 수분, 오일 미스트 등을 제거하고, 냉동 건조기를 통해 다량의 수분을 제거한 다음 3단계로 들어갑니다. 필터에서 유해 물질을 추가로 걸러낸 깨끗한 압축 공기는 흡착탑 하단에서 유입됩니다. 공기 흐름은 공기 확산 장치(만능 나선형 또는 자기 구슬)를 통과하여 흡착탑 내부로 고르게 유입되어 산소와 질소의 흡착 및 분리 과정을 거친 후 출구로 배출됩니다. 질소는 배출되어 질소 저장 탱크로 들어갑니다. 이 질소 생산 과정은 약 1분 정도 소요됩니다. 이후 압력 평형 및 감압(상압) 과정을 통해 흡착된 불순물 성분(주로 산소)을 제거하고 흡착제를 재생합니다. 두 개의 흡착탑은 교대로 가동되어 원료 공기를 지속적으로 공급하고 적합한 질소를 지속적으로 생산합니다.