Pusvadītāju slāpekļa ģenerators

Pusvadītāju ražošanā pusvadītāju materiālu un iekārtu aizsardzībai parasti ir nepieciešams augstas tīrības pakāpes slāpeklis. Slāpekļa ģenerators ir ierīce, ko izmanto augstas tīrības pakāpes slāpekļa ražošanai. Tas parasti izmanto gaisa atdalīšanas tehnoloģiju, lai atdalītu slāpekli un skābekli gaisā un ražotu augstas tīrības pakāpes slāpekli.

Pusvadītāju ražošanas procesā slāpekļa ģenerators var nodrošināt stabilu augstas tīrības pakāpes slāpekli, lai aizsargātu pusvadītāju materiālus un iekārtas no piesārņojuma ar skābekli un citiem piemaisījumiem. Tas palīdz nodrošināt stabilitāti un uzticamību pusvadītāju ražošanas procesā.

Tāpēc slāpekļa ģeneratoriem ir svarīga loma pusvadītāju ražošanā, un tie var palīdzēt nodrošināt pusvadītāju izstrādājumu kvalitāti un veiktspēju.

Sazinieties ar mums

Funkcijas

Augstas tīrības pakāpes slāpekļa ražošana: slāpekļa ģenerators var ražot augstas tīrības pakāpes slāpekli, kas parasti var sasniegt tīrības prasību vairāk nekā 99,999%, nodrošinot, ka pusvadītāju ražošanas procesā gāzes kvalitāte atbilst prasībām.

Stabila slāpekļa padeve: slāpekļa ģenerators var nodrošināt stabilu slāpekļa padevi, lai garantētu slāpekļa stabilitāti un uzticamību pusvadītāju ražošanas procesā.

Automatizēta vadība: Slāpekļa ģeneratoriem parasti ir automatizētas vadības sistēmas, kas var uzraudzīt un pielāgot slāpekļa izvadi, lai apmierinātu dažādu procesa apstākļu vajadzības.

Efektīvi un enerģiju taupoši: Mūsdienu slāpekļa ģeneratori parasti ir konstruēti tā, lai tie būtu efektīvi un enerģiju taupoši, spējot ražot augstas tīrības pakāpes slāpekli, vienlaikus samazinot enerģijas patēriņu un ekspluatācijas izmaksas.

Uzticamība un izturība: Slāpekļa ģeneratoriem parasti ir augsta uzticamība un izturība, tie var darboties stabili ilgu laiku un atbilst pusvadītāju ražošanas procesu vajadzībām.

specifikācija

Slāpekļa ražošana	1–5000 Nm³/h
Slāpekļa tīrība	95%-99,9999%
Slāpekļa spiediens	0,1–1,6 MPa (regulējams)
Slāpekļa rasas punkts	0~-60 ℃

Procesa plūsma

Gaisa kompresors saspiež neapstrādātu gaisu augstspiediena gaisā, nosūta to uz gaisa bufera tvertni, lai stabilizētu spiedienu, un pēc tam caur filtru tālāk noņem mitrumu, eļļas miglu utt., un sasaldē un dehidrē caur atdzesētu žāvētāju, lai noņemtu lielu daudzumu mitruma, un pēc tam nonāk trešajā posmā. Filtrs tālāk filtrē kaitīgās vielas, un pēc tam tīrais saspiestais gaiss ieplūst no adsorbcijas torņa apakšas. Pēc tam, kad gaisa plūsma ir izkliedēta caur gaisa difūzijas ierīci (universālo spirāli vai porcelāna lodīti), tā vienmērīgi ieplūst adsorbcijas tornī skābekļa un slāpekļa adsorbcijai un atdalīšanai, un pēc tam iziet no izplūdes gala. Slāpeklis izplūst un ieplūst slāpekļa uzglabāšanas tvertnē. Šis slāpekļa ražošanas process ilgst apmēram 1 minūti. Pēc tam, izlīdzinot spiedienu un samazinot spiedienu (līdz normālam spiedienam), tiek noņemti adsorbētie piemaisījumu komponenti (galvenokārt skābeklis), un adsorbenta reģenerācija ir pabeigta. Abi adsorbcijas torņi darbojas mainīgos ciklos, nepārtraukti piegādājot neapstrādātu gaisu un nepārtraukti ražojot kvalificētu slāpekli.

Pieteikums

Slāpekļa aizsardzība: Pusvadītāju ražošanas procesā daudzas darbības jāveic vidē bez skābekļa vai ar zemu skābekļa saturu, lai novērstu materiālu piesārņošanu vai oksidēšanos ar skābekli. Slāpekļa ģeneratori var nodrošināt augstas tīrības pakāpes slāpekli, lai aizsargātu pusvadītāju materiālus un iekārtas, kā arī nodrošinātu tīrību un stabilitāti ražošanas procesā.

Tvaika pārklāšana: Pusvadītāju procesos tvaika pārklāšana ir izplatīta plānslāņa pārklāšanas tehnoloģija, kurai nepieciešamas augstas tīrības gāzes, lai nodrošinātu pārklāšanas materiālus. Slāpekļa ģenerators var nodrošināt augstas tīrības slāpekli atmosfēras kontrolei un aizsardzībai tvaika pārklāšanas procesa laikā.

Tīrīšana un žāvēšana: Tīrīšana un žāvēšana ir ļoti svarīgi pusvadītāju ražošanas posmi, kuros mitruma un piemaisījumu noņemšanai jāizmanto sausa gāze. Slāpekļa ģeneratori var nodrošināt sausu slāpekli pusvadītāju iekārtu un materiālu tīrīšanai un žāvēšanai.

Gāzu analīze: Pusvadītāju ražošanas procesā gāzes ir jāanalizē un jāuzrauga, lai nodrošinātu procesa apstākļu stabilitāti un konsekvenci. Slāpekļa ģenerators var nodrošināt augstas tīrības pakāpes slāpekli kalibrēšanai un gāzes padevei gāzes analīzes instrumentiem.

Rezumējot, slāpekļa ģeneratoriem ir svarīga loma pusvadītāju rūpniecībā, un tie var nodrošināt augstas tīrības pakāpes, stabilu un uzticamu slāpekli, lai izpildītu stingrās gāzes kvalitātes un piegādes prasības pusvadītāju ražošanas procesā.