Puslaidininkinis azoto generatorius

Gaminant puslaidininkius, puslaidininkinėms medžiagoms ir įrangai apsaugoti paprastai reikalingas labai grynas azotas. Azoto generatorius yra įrenginys, naudojamas labai grynam azotui gaminti. Paprastai jame naudojama oro atskyrimo technologija, kad būtų atskirtas azotas ir deguonis ore ir pagamintas labai grynas azotas.

Puslaidininkių gamybos proceso metu azoto generatorius gali tiekti stabilų, labai gryną azotą, kuris apsaugo puslaidininkines medžiagas ir įrangą nuo užteršimo deguonimi ir kitomis priemaišomis. Tai padeda užtikrinti stabilumą ir patikimumą puslaidininkių gamybos proceso metu.

Todėl azoto generatoriai atlieka svarbų vaidmenį puslaidininkių gamyboje ir gali padėti užtikrinti puslaidininkių gaminių kokybę ir našumą.

Susisiekite su mumis

Savybės

Didelio grynumo azoto gamyba: azoto generatorius gali gaminti didelio grynumo azotą, kurio grynumo reikalavimas paprastai siekia daugiau nei 99,999 %, taip užtikrinant, kad puslaidininkių gamybos procese naudojamų dujų kokybė atitiktų reikalavimus.

Stabilus azoto tiekimas: azoto generatorius gali užtikrinti stabilų azoto tiekimą, kad būtų užtikrintas azoto stabilumas ir patikimumas puslaidininkių gamybos proceso metu.

Automatinis valdymas: Azoto generatoriai paprastai turi automatizuotas valdymo sistemas, kurios gali stebėti ir reguliuoti azoto išeigą, kad atitiktų skirtingų proceso sąlygų poreikius.

Efektyvus ir energiją taupantis: Šiuolaikiniai azoto generatoriai paprastai yra suprojektuoti taip, kad būtų efektyvūs ir energiją taupantys, galėtų gaminti labai gryną azotą, tuo pačiu sumažinant energijos suvartojimą ir eksploatavimo išlaidas.

Patikimumas ir ilgaamžiškumas: Azoto generatoriai paprastai pasižymi dideliu patikimumu ir ilgaamžiškumu, gali stabiliai veikti ilgą laiką ir patenkinti puslaidininkių gamybos procesų poreikius.

specifikacija

Azoto gamyba	1–5000 Nm³/val.
Azoto grynumas	95%-99,9999%
Azoto slėgis	0,1–1,6 MPa (reguliuojamas)
Azoto rasos taškas	0–60 ℃

Proceso srautas

Oro kompresorius suspaudžia neapdorotą orą į aukšto slėgio orą, siunčia jį į oro buferinę talpyklą, kad stabilizuotų slėgį, o tada per filtrą pašalina drėgmę, alyvos rūką ir kt., o per šaldytuvą-džiovintuvą užšaldo ir dehidratuoja, kad pašalintų didelį kiekį drėgmės, ir tada patenka į trečiąjį etapą. Filtras toliau filtruoja kenksmingas medžiagas, o tada švarus suslėgtas oras patenka pro adsorbcijos bokšto apačią. Oro srautui difuzuojant per oro difuzijos įtaisą (universalų spiralinį arba porcelianinį rutulį), jis tolygiai patenka į adsorbcijos bokštą deguonies ir azoto adsorbcijai ir atskyrimui, o tada išeina pro išleidimo angą. Azotas išteka ir patenka į azoto kaupimo talpyklą. Šis azoto gamybos procesas trunka apie 1 minutę. Vėliau, išlyginant ir sumažinant slėgį (iki normalaus slėgio), pašalinami adsorbuoti priemaišų komponentai (daugiausia deguonis) ir baigiama adsorbento regeneracija. Du adsorbcijos bokštai veikia pakaitomis, nuolat tiekdami neapdorotą orą ir nuolat gamindami kvalifikuotą azotą.

Paraiška

Apsauga nuo azoto: puslaidininkių gamybos procese daugelį etapų reikia atlikti aplinkoje be deguonies arba su mažu deguonies kiekiu, kad medžiagos nebūtų užterštos deguonimi ar oksiduotos. Azoto generatoriai gali tiekti labai gryną azotą, kad apsaugotų puslaidininkines medžiagas ir įrangą bei užtikrintų grynumą ir stabilumą gamybos proceso metu.

Garinis nusodinimas: Puslaidininkių procesuose garinis nusodinimas yra įprasta plonasluoksnio nusodinimo technologija, kuriai reikalingos labai grynos dujos nusodinimo medžiagoms gauti. Azoto generatorius gali tiekti labai gryną azotą atmosferos kontrolei ir apsaugai garinio nusodinimo proceso metu.

Valymas ir džiovinimas: valymas ir džiovinimas yra labai svarbūs puslaidininkių gamybos etapai, kuriems atlikti reikia naudoti sausas dujas drėgmei ir priemaišoms pašalinti. Azoto generatoriai gali tiekti sausą azotą puslaidininkių įrangai ir medžiagoms valyti ir džiovinti.

Dujų analizė: Puslaidininkių gamybos proceso metu dujos turi būti analizuojamos ir stebimos, siekiant užtikrinti proceso sąlygų stabilumą ir nuoseklumą. Azoto generatorius gali tiekti labai gryną azotą kalibravimui ir dujų tiekimui dujų analizės prietaisams.

Apibendrinant galima teigti, kad azoto generatoriai atlieka svarbų vaidmenį puslaidininkių pramonėje ir gali tiekti labai gryną, stabilų ir patikimą azotą, kad būtų patenkinti griežti dujų kokybės ir tiekimo reikalavimai puslaidininkių gamybos procese.