Полупроводников генератор на азот

При производството на полупроводници обикновено е необходим високочист азот за защита на полупроводниковите материали и оборудване. Генераторът на азот е устройство, използвано за производство на високочист азот. Обикновено той използва технология за разделяне на въздуха, за да отдели азота от кислорода във въздуха, за да произведе високочист азот.

По време на производствения процес на полупроводници, генераторът на азот може да осигури стабилен азот с висока чистота, за да предпази полупроводниковите материали и оборудване от замърсяване с кислород и други примеси. Това помага да се гарантира стабилност и надеждност по време на производствения процес на полупроводници.

Следователно, генераторите на азот играят важна роля в производството на полупроводници и могат да помогнат за осигуряване на качеството и производителността на полупроводниковите продукти.

Свържете се с нас

Характеристики

Производство на високочист азот: Генераторът на азот може да произвежда високочист азот, който обикновено достига изискването за чистота над 99,999%, като гарантира, че качеството на газа в процеса на производство на полупроводници отговаря на изискванията.

Стабилно подаване на азот: Генераторът на азот може да осигури стабилно подаване на азот, за да гарантира стабилността и надеждността на азота по време на производствения процес на полупроводници.

Автоматизирано управление: Азотните генератори обикновено имат автоматизирани системи за управление, които могат да наблюдават и регулират производството на азот, за да отговорят на нуждите на различните условия на процеса.

Ефективни и енергоспестяващи: Съвременните генератори на азот обикновено са проектирани да бъдат ефективни и енергоспестяващи, способни да произвеждат азот с висока чистота, като същевременно намаляват консумацията на енергия и експлоатационните разходи.

Надеждност и издръжливост: Азотните генератори обикновено имат висока надеждност и издръжливост, могат да работят стабилно дълго време и отговарят на нуждите на производствените процеси на полупроводници.

спецификация

Производство на азот	1-5000 Nm³/h
Чистота на азота	95%-99,9999%
Азотно налягане	0,1-1,6 MPa (регулируемо)
Точка на оросяване на азота	0~-60℃

Процесен поток

Въздушният компресор компресира суровия въздух до въздух с високо налягане, изпраща го към буферния резервоар за въздух, за да стабилизира налягането, след което допълнително отстранява влага, маслена мъгла и др. през филтъра, замръзва и дехидратира през хладилна сушилня, за да отстрани голямо количество влага, и след това навлиза в третия етап. Филтърът допълнително филтрира вредните вещества и след това чистият сгъстен въздух навлиза от дъното на адсорбционната кула. След като въздушният поток се разпръсне през устройството за дифузия на въздух (универсална спирала или порцеланова топка), той равномерно навлиза в адсорбционната кула за адсорбция и разделяне на кислород и азот, след което излиза през изходния край. Азотът изтича и навлиза в резервоара за съхранение на азот. Този процес на производство на азот отнема около 1 минута. След това, чрез изравняване на налягането и намаляване на налягането (до нормално налягане), адсорбираните примесни компоненти (главно кислород) се отстраняват и регенерацията на адсорбента е завършена. Двете адсорбционни кули работят в редуващи се цикли, като непрекъснато подават суров въздух и непрекъснато произвеждат качествен азот.

Приложение

Защита от азот: В процеса на производство на полупроводници много стъпки трябва да се извършват в среда без кислород или с ниско съдържание на кислород, за да се предотврати замърсяването или окисляването на материалите от кислород. Генераторите на азот могат да осигурят високочист азот за защита на полупроводниковите материали и оборудване и да гарантират чистота и стабилност по време на производствения процес.

Отлагане от газова фаза: В полупроводниковите процеси, отлагането от газова фаза е често срещана технология за отлагане на тънки филми, която изисква използването на високочисти газове за осигуряване на материали за отлагане. Генераторът на азот може да осигури високочист азот за контрол и защита на атмосферата по време на процеса на отлагане от газова фаза.

Почистване и сушене: Почистването и сушенето са много важни стъпки в производството на полупроводници, изискващи използването на сух газ за отстраняване на влага и примеси. Генераторите на азот могат да осигурят сух азот за почистване и сушене на полупроводниково оборудване и материали.

Анализ на газ: По време на производствения процес на полупроводници, газовете трябва да бъдат анализирани и наблюдавани, за да се гарантира стабилността и постоянството на условията на процеса. Генераторът на азот може да осигури високочист азот за калибриране и газоснабдяване на инструменти за газов анализ.

В обобщение, генераторите на азот играят важна роля в полупроводниковата индустрия и могат да осигурят високочист, стабилен и надежден азот, който отговаря на строгите изисквания за качество и доставка на газ в процеса на производство на полупроводници.