Halvleder nitrogengenerator

Ved fremstilling af halvledere kræves der normalt nitrogen med høj renhed for at beskytte halvledermaterialer og -udstyr. En nitrogengenerator er en enhed, der bruges til at producere nitrogen med høj renhed. Den bruger normalt luftseparationsteknologi til at adskille nitrogen og ilt i luften for at producere nitrogen med høj renhed.

Under halvlederfremstillingsprocessen kan nitrogengeneratoren levere stabil nitrogen med høj renhed for at beskytte halvledermaterialer og -udstyr mod kontaminering med ilt og andre urenheder. Dette er med til at sikre stabilitet og pålidelighed under halvlederfremstillingsprocessen.

Derfor spiller nitrogengeneratorer en vigtig rolle i halvlederfremstilling og kan bidrage til at sikre kvaliteten og ydeevnen af halvlederprodukter.

Kontakt os

Funktioner

Produktion af nitrogen med høj renhed: Nitrogengeneratoren kan producere nitrogen med høj renhed, som normalt kan nå renhedskravet på mere end 99,999%, hvilket sikrer, at gaskvaliteten i halvlederfremstillingsprocessen opfylder kravene.

Stabil nitrogenforsyning: Nitrogengeneratoren kan levere en stabil nitrogenforsyning for at sikre stabilitet og pålidelighed af nitrogen under halvlederfremstillingsprocessen.

Automatiseret styring: Nitrogengeneratorer har normalt automatiserede styresystemer, der kan overvåge og justere nitrogenproduktionen for at imødekomme behovene under forskellige procesforhold.

Effektive og energibesparende: Moderne nitrogengeneratorer er normalt designet til at være effektive og energibesparende og i stand til at producere nitrogen med høj renhed, samtidig med at de reducerer energiforbruget og driftsomkostningerne.

Pålidelighed og holdbarhed: Nitrogengeneratorer har normalt høj pålidelighed og holdbarhed, kan fungere stabilt i lang tid og opfylder behovene i halvlederproduktionsprocesser.

specifikation

Kvælstofproduktion	1-5000 Nm³/t
Kvælstofrenhed	95%-99,9999%
Kvælstoftryk	0,1-1,6 MPa (justerbar)
Kvælstofdugpunkt	0~-60 ℃

Procesflow

Luftkompressoren komprimerer råluften til højtryksluft, sender den til luftbuffertanken for at stabilisere trykket, og fjerner derefter yderligere fugt, olietåge osv. gennem filteret, og fryser og dehydrerer gennem køletørreren for at fjerne en stor mængde fugt, og går derefter ind i tredje trin. Filteret filtrerer yderligere skadelige stoffer, og derefter kommer den rene trykluft ind fra bunden af adsorptionstårnet. Efter at luftstrømmen er diffunderet gennem luftdiffusionsanordningen (universalspiral eller porcelænskugle), kommer den jævnt ind i adsorptionstårnet for at adsorbere og separere ilt og nitrogen, og forlader derefter udløbsenden. Nitrogenet strømmer ud og ind i nitrogenopbevaringstanken. Denne nitrogenproduktionsproces tager cirka 1 minut. Derefter fjernes de adsorberede urenhedskomponenter (primært ilt) gennem trykudligning og trykreduktion (til normalt tryk), og regenereringen af adsorbenten er fuldført. De to adsorptionstårne fungerer i skiftende cyklusser, kontinuerligt tilfører råluft og kontinuerligt producerer kvalificeret nitrogen.

Anvendelse

Nitrogenbeskyttelse: I halvlederfremstillingsprocessen skal mange trin udføres i et iltfrit eller iltfattigt miljø for at forhindre, at materialer forurenes eller oxideres af ilt. Nitrogengeneratorer kan levere nitrogen med høj renhed for at beskytte halvledermaterialer og -udstyr og sikre renhed og stabilitet under fremstillingsprocessen.

Dampaflejring: I halvlederprocesser er dampaflejring en almindelig tyndfilmsaflejringsteknologi, der kræver brug af højrente gasser til at levere aflejringsmaterialer. Nitrogengeneratoren kan levere højrent nitrogen til atmosfærekontrol og beskyttelse under dampaflejringsprocessen.

Rengøring og tørring: Rengøring og tørring er meget vigtige trin i halvlederfremstilling, da det kræver brug af tør gas til at fjerne fugt og urenheder. Nitrogengeneratorer kan levere tør nitrogen til rengøring og tørring af halvlederudstyr og -materialer.

Gasanalyse: Under halvlederfremstillingsprocessen skal gasser analyseres og overvåges for at sikre stabilitet og ensartethed i procesforholdene. Nitrogengeneratoren kan levere nitrogen med høj renhed til kalibrering og gasforsyning af gasanalyseinstrumenter.

Kort sagt spiller nitrogengeneratorer en vigtig rolle i halvlederindustrien og kan levere nitrogen med høj renhed, stabil og pålidelighed, der opfylder de strenge krav til gaskvalitet og -forsyning i halvlederfremstillingsprocessen.