Yarimo'tkazgichli azot generatori

Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishda, odatda yarimo'tkazgich materiallari va uskunalarini himoya qilish uchun yuqori tozalikdagi azot talab qilinadi. Azot generatori yuqori tozalikdagi azot ishlab chiqarish uchun ishlatiladigan qurilma. Odatda yuqori tozalikdagi azot ishlab chiqarish uchun havo ajratish texnologiyasidan foydalanadi.

Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonida azot generatori yarimo'tkazgich materiallari va uskunalarini kislorod va boshqa aralashmalar bilan ifloslanishdan himoya qilish uchun barqaror yuqori tozalikdagi azotni ta'minlay oladi. Bu yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonida barqarorlik va ishonchlilikni ta'minlashga yordam beradi.

Shuning uchun azot generatorlari yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda muhim rol o'ynaydi va yarimo'tkazgich mahsulotlarining sifati va ishlashini ta'minlashga yordam beradi.

Biz bilan bog'lanish

Xususiyatlari

Yuqori tozalikdagi azot ishlab chiqarish: Azot generatori yuqori tozalikdagi azot ishlab chiqarishi mumkin, bu odatda 99,999% dan ortiq tozalik talabiga yetishi mumkin, bu esa yarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayonidagi gaz sifati talablarga javob berishini ta'minlaydi.

Barqaror azot ta'minoti: Azot generatori yarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayonida azotning barqarorligi va ishonchliligini ta'minlash uchun barqaror azot ta'minotini ta'minlay oladi.

Avtomatlashtirilgan boshqaruv: Azot generatorlari odatda turli jarayon sharoitlarining ehtiyojlarini qondirish uchun azot chiqishini kuzatib borishi va sozlashi mumkin bo'lgan avtomatlashtirilgan boshqaruv tizimlariga ega.

Samarali va energiyani tejaydigan: Zamonaviy azot generatorlari odatda samarali va energiyani tejaydigan qilib ishlab chiqilgan bo'lib, energiya sarfi va foydalanish xarajatlarini kamaytirish bilan birga yuqori tozalikdagi azot ishlab chiqarishga qodir.

Ishonchlilik va chidamlilik: Azot generatorlari odatda yuqori ishonchlilik va chidamlilikka ega, uzoq vaqt davomida barqaror ishlashi mumkin va yarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayonlarining ehtiyojlarini qondiradi.

spetsifikatsiya

Azot ishlab chiqarish	1-5000Nm³/soat
Azotning sofligi	95%-99.9999%
Azot bosimi	0.1-1.6MPa (sozlanishi)
Azot shudring nuqtasi	0~-60℃

Jarayon oqimi

Havo kompressori xom havoni yuqori bosimli havoga siqib chiqaradi, bosimni barqarorlashtirish uchun uni havo buferi rezervuariga yuboradi va keyin filtr orqali namlik, moy tumanini va boshqalarni yanada ko'proq olib tashlaydi va ko'p miqdordagi namlikni olib tashlash uchun sovutgichli quritgich orqali muzlatadi va suvsizlantiradi, so'ngra uchinchi bosqichga o'tadi. Filtr zararli moddalarni yanada filtrlaydi, so'ngra toza siqilgan havo adsorbsiya minorasining pastki qismidan kiradi. Havo oqimi havo diffuziya moslamasi (universal spiral yoki chinni shar) orqali tarqalgandan so'ng, u kislorod va azotni adsorbsiyalash va ajratish uchun adsorbsiya minorasiga teng ravishda kiradi va keyin chiqish uchidan chiqadi. Azot oqib chiqadi va azot saqlash rezervuariga kiradi. Bu azot ishlab chiqarish jarayoni taxminan 1 daqiqa davom etadi. Shundan so'ng, bosimni tenglashtirish va bosimni pasaytirish (normal bosimgacha) orqali adsorbsiyalangan aralashma komponentlari (asosan kislorod) olib tashlanadi va adsorbentning regeneratsiyasi yakunlanadi. Ikki adsorbsiya minorasi navbatma-navbat sikllarda ishlaydi, doimiy ravishda xom havoni oziqlantiradi va doimiy ravishda malakali azot ishlab chiqaradi.

Ilova

Azot himoyasi: Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish jarayonida materiallarning kislorod bilan ifloslanishi yoki oksidlanishining oldini olish uchun kislorodsiz yoki kam kislorodli muhitda ko'plab bosqichlarni bajarish kerak. Azot generatorlari yarimo'tkazgich materiallari va uskunalarini himoya qilish va ishlab chiqarish jarayonida soflik va barqarorlikni ta'minlash uchun yuqori tozalikdagi azot bilan ta'minlashi mumkin.

Bug' cho'ktirish: Yarimo'tkazgich jarayonlarida bug' cho'ktirish keng tarqalgan yupqa plyonka cho'ktirish texnologiyasi bo'lib, cho'ktirish materiallarini ta'minlash uchun yuqori tozalikdagi gazlardan foydalanishni talab qiladi. Azot generatori bug' cho'ktirish jarayonida atmosferani boshqarish va himoya qilish uchun yuqori tozalikdagi azotni ta'minlashi mumkin.

Tozalash va quritish: Tozalash va quritish yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda juda muhim bosqich bo'lib, namlik va aralashmalarni olib tashlash uchun quruq gazdan foydalanishni talab qiladi. Azot generatorlari yarimo'tkazgich uskunalari va materiallarini tozalash va quritish uchun quruq azot bilan ta'minlashi mumkin.

Gaz tahlili: Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonida jarayon sharoitlarining barqarorligi va izchilligini ta'minlash uchun gazlarni tahlil qilish va kuzatish kerak. Azot generatori gaz tahlili asboblarini kalibrlash va gaz bilan ta'minlash uchun yuqori tozalikdagi azotni ta'minlay oladi.

Xulosa qilib aytganda, azot generatorlari yarimo'tkazgich sanoatida muhim rol o'ynaydi va yarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayonida gaz sifati va ta'minoti uchun qat'iy talablarga javob beradigan yuqori tozalik, barqaror va ishonchli azotni ta'minlay oladi.