सेमीकंडक्टर नायट्रोजन जनरेटर

अर्धवाहक तयार करताना, अर्धवाहक साहित्य आणि उपकरणे संरक्षित करण्यासाठी उच्च-शुद्धता नायट्रोजनची आवश्यकता असते. नायट्रोजन जनरेटर हे उच्च-शुद्धता नायट्रोजन तयार करण्यासाठी वापरले जाणारे उपकरण आहे. ते सहसा उच्च-शुद्धता नायट्रोजन तयार करण्यासाठी हवेतील नायट्रोजन आणि ऑक्सिजन वेगळे करण्यासाठी हवा वेगळे करण्याच्या तंत्रज्ञानाचा वापर करते.

अर्धवाहक उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान, नायट्रोजन जनरेटर ऑक्सिजन आणि इतर अशुद्धतेमुळे होणाऱ्या दूषिततेपासून अर्धवाहक पदार्थ आणि उपकरणांचे संरक्षण करण्यासाठी स्थिर उच्च-शुद्धता नायट्रोजन प्रदान करू शकतो. हे अर्धवाहक उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान स्थिरता आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करण्यास मदत करते.

म्हणून, नायट्रोजन जनरेटर अर्धवाहक उत्पादनात महत्त्वाची भूमिका बजावतात आणि अर्धवाहक उत्पादनांची गुणवत्ता आणि कार्यक्षमता सुनिश्चित करण्यास मदत करू शकतात.

आमच्याशी संपर्क साधा

वैशिष्ट्ये

उच्च-शुद्धता नायट्रोजन उत्पादन: नायट्रोजन जनरेटर उच्च-शुद्धता नायट्रोजन तयार करू शकतो, जो सामान्यतः 99.999% पेक्षा जास्त शुद्धतेची आवश्यकता गाठू शकतो, ज्यामुळे अर्धसंवाहक उत्पादन प्रक्रियेतील वायूची गुणवत्ता आवश्यकता पूर्ण करते याची खात्री होते.

स्थिर नायट्रोजन पुरवठा: अर्धवाहक उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान नायट्रोजनची स्थिरता आणि विश्वासार्हता सुनिश्चित करण्यासाठी नायट्रोजन जनरेटर स्थिर नायट्रोजन पुरवठा प्रदान करू शकतो.

स्वयंचलित नियंत्रण: नायट्रोजन जनरेटरमध्ये सहसा स्वयंचलित नियंत्रण प्रणाली असतात ज्या वेगवेगळ्या प्रक्रिया परिस्थितींच्या गरजा पूर्ण करण्यासाठी नायट्रोजन आउटपुटचे निरीक्षण आणि समायोजन करू शकतात.

कार्यक्षम आणि ऊर्जा-बचत: आधुनिक नायट्रोजन जनरेटर सामान्यतः कार्यक्षम आणि ऊर्जा-बचत करण्यासाठी डिझाइन केलेले असतात, जे ऊर्जा वापर आणि ऑपरेटिंग खर्च कमी करताना उच्च-शुद्धता नायट्रोजन तयार करण्यास सक्षम असतात.

विश्वासार्हता आणि टिकाऊपणा: नायट्रोजन जनरेटरमध्ये सहसा उच्च विश्वासार्हता आणि टिकाऊपणा असतो, ते दीर्घकाळ स्थिरपणे काम करू शकतात आणि अर्धसंवाहक उत्पादन प्रक्रियेच्या गरजा पूर्ण करू शकतात.

तपशील

नायट्रोजन उत्पादन	१-५००० एनएमक्यू/तास
नायट्रोजन शुद्धता	९५%-९९.९९९९%
नायट्रोजनचा दाब	०.१-१.६ एमपीए (समायोज्य)
नायट्रोजन दवबिंदू	०~-६०℃

प्रक्रिया प्रवाह

एअर कॉम्प्रेसर कच्च्या हवेला उच्च-दाबाच्या हवेत संकुचित करतो, दाब स्थिर करण्यासाठी एअर बफर टँकमध्ये पाठवतो आणि नंतर फिल्टरद्वारे ओलावा, तेल धुके इत्यादी काढून टाकतो आणि मोठ्या प्रमाणात ओलावा काढून टाकण्यासाठी रेफ्रिजरेटेड ड्रायरद्वारे गोठवतो आणि निर्जलीकरण करतो आणि नंतर तिसऱ्या टप्प्यात प्रवेश करतो. फिल्टर हानिकारक पदार्थांना पुढे फिल्टर करतो आणि नंतर स्वच्छ संकुचित हवा शोषण टॉवरच्या तळापासून प्रवेश करते. हवेचा प्रवाह हवेच्या प्रसार उपकरणाद्वारे (युनिव्हर्सल स्पायरल किंवा पोर्सिलेन बॉल) पसरल्यानंतर, तो ऑक्सिजन आणि नायट्रोजन शोषण आणि वेगळे करण्यासाठी समान रीतीने शोषण टॉवरमध्ये प्रवेश करतो आणि नंतर आउटलेट एंडमधून बाहेर पडतो. नायट्रोजन बाहेर पडतो आणि नायट्रोजन स्टोरेज टँकमध्ये प्रवेश करतो. या नायट्रोजन उत्पादन प्रक्रियेला सुमारे 1 मिनिट लागतो. त्यानंतर, दाब समीकरण आणि दाब कमी करून (सामान्य दाबापर्यंत), शोषलेले अशुद्धता घटक (प्रामुख्याने ऑक्सिजन) काढून टाकले जातात आणि शोषकांचे पुनर्जन्म पूर्ण होते. दोन शोषण टॉवर पर्यायी चक्रांमध्ये कार्य करतात, सतत कच्ची हवा पोसतात आणि सतत पात्र नायट्रोजन तयार करतात.

अर्ज

नायट्रोजन संरक्षण: अर्धवाहक उत्पादन प्रक्रियेत, ऑक्सिजन-मुक्त किंवा कमी-ऑक्सिजन वातावरणात अनेक पावले उचलावी लागतात जेणेकरून ऑक्सिजनद्वारे पदार्थ दूषित किंवा ऑक्सिडाइझ होऊ नयेत. नायट्रोजन जनरेटर अर्धवाहक पदार्थ आणि उपकरणे संरक्षित करण्यासाठी आणि उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान शुद्धता आणि स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी उच्च-शुद्धता नायट्रोजन प्रदान करू शकतात.

बाष्प निक्षेपण: अर्धवाहक प्रक्रियांमध्ये, बाष्प निक्षेपण ही एक सामान्य पातळ फिल्म निक्षेपण तंत्रज्ञान आहे ज्यामध्ये निक्षेपण सामग्री प्रदान करण्यासाठी उच्च-शुद्धता वायूंचा वापर आवश्यक असतो. नायट्रोजन जनरेटर बाष्प निक्षेपण प्रक्रियेदरम्यान वातावरण नियंत्रण आणि संरक्षणासाठी उच्च-शुद्धता नायट्रोजन प्रदान करू शकतो.

स्वच्छता आणि वाळवणे: स्वच्छता आणि वाळवणे हे अर्धवाहक उत्पादनात खूप महत्वाचे टप्पे आहेत, ज्यामध्ये ओलावा आणि अशुद्धता काढून टाकण्यासाठी कोरड्या वायूचा वापर आवश्यक असतो. नायट्रोजन जनरेटर अर्धवाहक उपकरणे आणि साहित्य स्वच्छ आणि वाळविण्यासाठी कोरडे नायट्रोजन प्रदान करू शकतात.

वायू विश्लेषण: अर्धवाहक उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान, प्रक्रियेच्या परिस्थितीची स्थिरता आणि सुसंगतता सुनिश्चित करण्यासाठी वायूंचे विश्लेषण आणि निरीक्षण करणे आवश्यक आहे. नायट्रोजन जनरेटर वायू विश्लेषण उपकरणांच्या कॅलिब्रेशन आणि वायू पुरवठ्यासाठी उच्च-शुद्धता नायट्रोजन प्रदान करू शकतो.

थोडक्यात, नायट्रोजन जनरेटर अर्धवाहक उद्योगात महत्त्वाची भूमिका बजावतात आणि अर्धवाहक उत्पादन प्रक्रियेत वायू गुणवत्ता आणि पुरवठ्यासाठी कठोर आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी उच्च-शुद्धता, स्थिर आणि विश्वासार्ह नायट्रोजन प्रदान करू शकतात.