Poluprovodnički generator dušika

Prilikom proizvodnje poluprovodnika, obično je potreban dušik visoke čistoće za zaštitu poluprovodničkih materijala i opreme. Generator dušika je uređaj koji se koristi za proizvodnju dušika visoke čistoće. Obično koristi tehnologiju odvajanja zraka za odvajanje dušika i kisika u zraku radi proizvodnje dušika visoke čistoće.

Tokom procesa proizvodnje poluprovodnika, generator azota može obezbijediti stabilan azot visoke čistoće kako bi zaštitio poluprovodničke materijale i opremu od kontaminacije kiseonikom i drugim nečistoćama. Ovo pomaže u osiguravanju stabilnosti i pouzdanosti tokom procesa proizvodnje poluprovodnika.

Stoga, generatori dušika igraju važnu ulogu u proizvodnji poluvodiča i mogu pomoći u osiguravanju kvalitete i performansi poluvodičkih proizvoda.

Kontaktirajte nas

Karakteristike

Proizvodnja dušika visoke čistoće: Generator dušika može proizvesti dušik visoke čistoće, koji obično može dostići zahtjev za čistoću od preko 99,999%, osiguravajući da kvalitet plina u procesu proizvodnje poluvodiča ispunjava zahtjeve.

Stabilno snabdijevanje dušikom: Generator dušika može osigurati stabilno snabdijevanje dušikom kako bi se osigurala stabilnost i pouzdanost dušika tokom procesa proizvodnje poluvodiča.

Automatska kontrola: Generatori azota obično imaju automatizovane sisteme kontrole koji mogu pratiti i podešavati izlaz azota kako bi zadovoljili potrebe različitih procesnih uslova.

Efikasni i energetski štedljivi: Moderni generatori dušika obično su dizajnirani da budu efikasni i energetski štedljivi, sposobni da proizvode dušik visoke čistoće uz smanjenje potrošnje energije i operativnih troškova.

Pouzdanost i izdržljivost: Generatori dušika obično imaju visoku pouzdanost i izdržljivost, mogu stabilno raditi dugo vremena i zadovoljavaju potrebe procesa proizvodnje poluvodiča.

specifikacija

Proizvodnja dušika	1-5000 Nm³/h
Čistoća dušika	95%-99,9999%
Pritisak dušika	0,1-1,6 MPa (podesivo)
Tačka rose azota	0~-60℃

Tok procesa

Zračni kompresor komprimira sirovi zrak u zrak visokog pritiska, šalje ga u spremnik zraka radi stabilizacije pritiska, a zatim dodatno uklanja vlagu, uljnu maglu itd. kroz filter, te se smrzava i dehidrira kroz rashladni sušač kako bi se uklonila velika količina vlage, a zatim ulazi u treću fazu. Filter dalje filtrira štetne tvari, a zatim čisti komprimirani zrak ulazi s dna adsorpcijskog tornja. Nakon što se protok zraka difuzira kroz uređaj za difuziju zraka (univerzalna spirala ili porculanska kugla), ravnomjerno ulazi u adsorpcijski toranj radi adsorpcije i odvajanja kisika i dušika, a zatim izlazi na izlaznom kraju. Dušik izlazi i ulazi u spremnik dušika. Ovaj proces proizvodnje dušika traje oko 1 minutu. Nakon toga, izjednačavanjem pritiska i smanjenjem pritiska (na normalni pritisak), uklanjaju se adsorbirane komponente nečistoća (uglavnom kisik) i regeneracija adsorbenta je završena. Dva adsorpcijska tornja rade u naizmjeničnim ciklusima, kontinuirano dovodeći sirovi zrak i kontinuirano proizvodeći kvalificirani dušik.

Aplikacija

Zaštita od dušika: U procesu proizvodnje poluprovodnika, mnogi koraci moraju se izvoditi u okruženju bez kisika ili sa niskim sadržajem kisika kako bi se spriječila kontaminacija ili oksidacija materijala kisikom. Generatori dušika mogu obezbijediti dušik visoke čistoće za zaštitu poluprovodničkih materijala i opreme i osigurati čistoću i stabilnost tokom procesa proizvodnje.

Taloženje iz parne faze: U procesima poluprovodnika, taloženje iz parne faze je uobičajena tehnologija taloženja tankih filmova koja zahtijeva upotrebu gasova visoke čistoće za obezbjeđivanje materijala za taloženje. Generator azota može obezbijediti azot visoke čistoće za kontrolu i zaštitu atmosfere tokom procesa taloženja iz parne faze.

Čišćenje i sušenje: Čišćenje i sušenje su veoma važni koraci u proizvodnji poluprovodnika, koji zahtijevaju upotrebu suvog gasa za uklanjanje vlage i nečistoća. Generatori azota mogu obezbediti suvi azot za čišćenje i sušenje poluprovodničke opreme i materijala.

Analiza gasa: Tokom procesa proizvodnje poluprovodnika, gasove je potrebno analizirati i pratiti kako bi se osigurala stabilnost i konzistentnost procesnih uslova. Generator azota može obezbijediti azot visoke čistoće za kalibraciju i snabdijevanje gasom instrumenata za analizu gasa.

Ukratko, generatori dušika igraju važnu ulogu u industriji poluvodiča i mogu osigurati visokočisti, stabilan i pouzdan dušik kako bi se ispunili strogi zahtjevi za kvalitetom i opskrbom plinom u procesu proizvodnje poluvodiča.