Halvledargenerator för kväve

Vid tillverkning av halvledare krävs vanligtvis högrent kväve för att skydda halvledarmaterial och utrustning. En kvävegenerator är en anordning som används för att producera högrent kväve. Den använder vanligtvis luftseparationsteknik för att separera kväve och syre i luften för att producera högrent kväve.

Under halvledartillverkningsprocessen kan kvävegeneratorn tillhandahålla stabilt kväve med hög renhet för att skydda halvledarmaterial och utrustning från kontaminering av syre och andra föroreningar. Detta bidrar till att säkerställa stabilitet och tillförlitlighet under halvledartillverkningsprocessen.

Därför spelar kvävegeneratorer en viktig roll i halvledartillverkning och kan bidra till att säkerställa kvaliteten och prestandan hos halvledarprodukter.

Kontakta oss

Drag

Produktion av högrent kväve: Kvävegeneratorn kan producera kväve med hög renhet, vilket vanligtvis kan nå renhetskravet på mer än 99,999 %, vilket säkerställer att gaskvaliteten i halvledartillverkningsprocessen uppfyller kraven.

Stabil kvävetillförsel: Kvävegeneratorn kan tillhandahålla en stabil kvävetillförsel för att säkerställa kvävets stabilitet och tillförlitlighet under halvledartillverkningsprocessen.

Automatiserad styrning: Kvävegeneratorer har vanligtvis automatiserade styrsystem som kan övervaka och justera kväveproduktionen för att möta behoven hos olika processförhållanden.

Effektiva och energibesparande: Moderna kvävegeneratorer är vanligtvis utformade för att vara effektiva och energibesparande, och kan producera kväve med hög renhet samtidigt som de minskar energiförbrukningen och driftskostnaderna.

Tillförlitlighet och hållbarhet: Kvävegeneratorer har vanligtvis hög tillförlitlighet och hållbarhet, kan fungera stabilt under lång tid och uppfyller behoven hos halvledartillverkningsprocesser.

specifikation

Kväveproduktion	1–5000 Nm³/h
Kväverenhet	95%–99,9999%
Kvävetryck	0,1–1,6 MPa (justerbar)
Kvävedaggpunkt	0~-60℃

Processflöde

Luftkompressorn komprimerar råluften till högtrycksluft, skickar den till luftbuffertanken för att stabilisera trycket, och avlägsnar sedan ytterligare fukt, oljedimma etc. genom filtret, och fryser och torkar genom kyltorken för att avlägsna en stor mängd fukt, och går sedan in i det tredje steget. Filtret filtrerar ytterligare skadliga ämnen, och sedan kommer den rena tryckluften in från botten av adsorptionstornet. Efter att luftflödet har diffunderats genom luftdiffusionsanordningen (universalspiral eller porslinskula), kommer det jämnt in i adsorptionstornet för adsorption och separation av syre och kväve, och lämnar sedan utloppsänden. Kvävet flödar ut och in i kvävelagringstanken. Denna kväveproduktionsprocess tar cirka 1 minut. Därefter, genom tryckutjämning och tryckreduktion (till normalt tryck), avlägsnas de adsorberade föroreningskomponenterna (främst syre), och regenereringen av adsorbenten är slutförd. De två adsorptionstornen arbetar i alternerande cykler, kontinuerligt matar råluft och kontinuerligt producerar kvalificerat kväve.

Ansökan

Kväveskydd: I halvledartillverkningsprocessen måste många steg utföras i en syrefri eller syrefattig miljö för att förhindra att material kontamineras eller oxideras av syre. Kvävegeneratorer kan tillhandahålla kväve med hög renhet för att skydda halvledarmaterial och utrustning och säkerställa renhet och stabilitet under tillverkningsprocessen.

Ångdeponering: I halvledarprocesser är ångdeponering en vanlig tunnfilmsdeponeringsteknik som kräver användning av högrena gaser för att tillhandahålla deponeringsmaterial. Kvävegeneratorn kan tillhandahålla högren kväve för atmosfärskontroll och skydd under ångdeponeringsprocessen.

Rengöring och torkning: Rengöring och torkning är mycket viktiga steg i halvledartillverkning och kräver användning av torr gas för att avlägsna fukt och föroreningar. Kvävegeneratorer kan tillhandahålla torrt kväve för rengöring och torkning av halvledarutrustning och material.

Gasanalys: Under halvledartillverkningsprocessen måste gaser analyseras och övervakas för att säkerställa stabilitet och konsistens i processförhållandena. Kvävegeneratorn kan tillhandahålla kväve med hög renhet för kalibrering och gasförsörjning av gasanalysinstrument.

Sammanfattningsvis spelar kvävegeneratorer en viktig roll inom halvledarindustrin och kan tillhandahålla högrent, stabilt och tillförlitligt kväve för att uppfylla de strikta kraven på gaskvalitet och -tillförsel i halvledartillverkningsprocessen.