Generator de azot semiconductor

La fabricarea semiconductorilor, azotul de înaltă puritate este de obicei necesar pentru a proteja materialele și echipamentele semiconductoare. Un generator de azot este un dispozitiv utilizat pentru a produce azot de înaltă puritate. De obicei, folosește tehnologia de separare a aerului pentru a separa azotul și oxigenul din aer pentru a produce azot de înaltă puritate.

În timpul procesului de fabricație a semiconductorilor, generatorul de azot poate furniza azot stabil de înaltă puritate pentru a proteja materialele și echipamentele semiconductoare de contaminarea cu oxigen și alte impurități. Acest lucru ajută la asigurarea stabilității și fiabilității în timpul procesului de fabricație a semiconductorilor.

Prin urmare, generatoarele de azot joacă un rol important în fabricarea semiconductorilor și pot ajuta la asigurarea calității și performanței produselor semiconductoare.

Contactaţi-ne

Caracteristici

Producția de azot de înaltă puritate: Generatorul de azot poate produce azot de înaltă puritate, care poate atinge de obicei cerința de puritate de peste 99,999%, asigurând că calitatea gazului în procesul de fabricație a semiconductorilor îndeplinește cerințele.

Alimentare stabilă cu azot: Generatorul de azot poate asigura o alimentare stabilă cu azot pentru a asigura stabilitatea și fiabilitatea azotului în timpul procesului de fabricație a semiconductorilor.

Control automat: Generatoarele de azot au de obicei sisteme de control automate care pot monitoriza și ajusta producția de azot pentru a satisface nevoile diferitelor condiții de proces.

Eficient și economisitor de energie: Generatoarele moderne de azot sunt de obicei proiectate pentru a fi eficiente și economisitoare de energie, capabile să producă azot de înaltă puritate, reducând în același timp consumul de energie și costurile de operare.

Fiabilitate și durabilitate: Generatoarele de azot au de obicei fiabilitate și durabilitate ridicate, pot funcționa stabil pentru o lungă perioadă de timp și îndeplinesc cerințele proceselor de fabricație a semiconductorilor.

specificație

Producția de azot	1-5000 Nm³/h
Puritatea azotului	95%-99,9999%
Presiunea azotului	0,1-1,6MPa (reglabil)
Punct de rouă al azotului	0~-60℃

Fluxul procesului

Compresorul de aer comprimă aerul brut în aer de înaltă presiune, îl trimite în rezervorul tampon de aer pentru a stabiliza presiunea, apoi elimină umezeala, ceața de ulei etc. prin filtru, îngheață și deshidratează prin uscătorul frigorific pentru a elimina o cantitate mare de umiditate, apoi intră în a treia etapă. Filtrul filtrează în continuare substanțele nocive, iar apoi aerul comprimat curat intră din partea inferioară a turnului de adsorbție. După ce fluxul de aer este difuzat prin dispozitivul de difuzie a aerului (spirală universală sau bilă de porțelan), acesta intră uniform în turnul de adsorbție pentru adsorbția și separarea oxigenului și azotului, apoi iese pe capătul de ieșire. Azotul curge afară și intră în rezervorul de stocare a azotului. Acest proces de producere a azotului durează aproximativ 1 minut. Ulterior, prin egalizarea presiunii și reducerea presiunii (la presiunea normală), componentele impurităților adsorbite (în principal oxigen) sunt îndepărtate, iar regenerarea adsorbantului este finalizată. Cele două turnuri de adsorbție funcționează în cicluri alternante, alimentând continuu aer brut și producând continuu azot calificat.

Aplicație

Protecție cu azot: În procesul de fabricație a semiconductorilor, mulți pași trebuie efectuați într-un mediu fără oxigen sau cu conținut scăzut de oxigen pentru a preveni contaminarea sau oxidarea materialelor de către oxigen. Generatoarele de azot pot furniza azot de înaltă puritate pentru a proteja materialele și echipamentele semiconductoare și pentru a asigura puritatea și stabilitatea în timpul procesului de fabricație.

Depunere în stare de vapori: În procesele cu semiconductori, depunerea în stare de vapori este o tehnologie comună de depunere în peliculă subțire care necesită utilizarea de gaze de înaltă puritate pentru a furniza materiale de depunere. Generatorul de azot poate furniza azot de înaltă puritate pentru controlul și protecția atmosferei în timpul procesului de depunere în stare de vapori.

Curățarea și uscarea: Curățarea și uscarea sunt etape foarte importante în fabricarea semiconductorilor, necesitând utilizarea de gaz uscat pentru a îndepărta umezeala și impuritățile. Generatoarele de azot pot furniza azot uscat pentru curățarea și uscarea echipamentelor și materialelor semiconductoare.

Analiza gazelor: În timpul procesului de fabricație a semiconductorilor, gazele trebuie analizate și monitorizate pentru a asigura stabilitatea și consecvența condițiilor de proces. Generatorul de azot poate furniza azot de înaltă puritate pentru calibrarea și alimentarea cu gaz a instrumentelor de analiză a gazelor.

Pe scurt, generatoarele de azot joacă un rol important în industria semiconductorilor și pot furniza azot de înaltă puritate, stabil și fiabil pentru a îndeplini cerințele stricte privind calitatea și furnizarea gazului în procesul de fabricație a semiconductorilor.