Polovodičový generátor dusíka

Pri výrobe polovodičov je na ochranu polovodičových materiálov a zariadení zvyčajne potrebný vysoko čistý dusík. Generátor dusíka je zariadenie používané na výrobu vysoko čistého dusíka. Zvyčajne využíva technológiu separácie vzduchu na oddelenie dusíka a kyslíka vo vzduchu za účelom výroby vysoko čistého dusíka.

Počas procesu výroby polovodičov môže generátor dusíka poskytovať stabilný vysoko čistý dusík na ochranu polovodičových materiálov a zariadení pred kontamináciou kyslíkom a inými nečistotami. To pomáha zabezpečiť stabilitu a spoľahlivosť počas procesu výroby polovodičov.

Preto zohrávajú generátory dusíka dôležitú úlohu vo výrobe polovodičov a môžu pomôcť zabezpečiť kvalitu a výkon polovodičových produktov.

Kontaktujte nás

Funkcie

Výroba dusíka s vysokou čistotou: Generátor dusíka dokáže vyrábať dusík s vysokou čistotou, ktorý zvyčajne dosahuje požadovanú čistotu viac ako 99,999 %, čím sa zabezpečí, že kvalita plynu v procese výroby polovodičov spĺňa požiadavky.

Stabilný prívod dusíka: Generátor dusíka dokáže zabezpečiť stabilný prívod dusíka, aby sa zabezpečila stabilita a spoľahlivosť dusíka počas procesu výroby polovodičov.

Automatizované riadenie: Generátory dusíka majú zvyčajne automatizované riadiace systémy, ktoré dokážu monitorovať a upravovať výstup dusíka tak, aby vyhovoval potrebám rôznych procesných podmienok.

Efektívne a energeticky úsporné: Moderné generátory dusíka sú zvyčajne navrhnuté tak, aby boli efektívne a energeticky úsporné, schopné produkovať vysoko čistý dusík a zároveň znižovať spotrebu energie a prevádzkové náklady.

Spoľahlivosť a odolnosť: Generátory dusíka majú zvyčajne vysokú spoľahlivosť a odolnosť, môžu stabilne pracovať dlhú dobu a spĺňajú potreby procesov výroby polovodičov.

špecifikácia

Produkcia dusíka	1 – 5 000 Nm³/h
Čistota dusíka	95 % – 99,9999 %
Tlak dusíka	0,1 – 1,6 MPa (nastaviteľné)
Rosný bod dusíka	0~-60℃

Priebeh procesu

Vzduchový kompresor stláča surový vzduch na vysokotlakový vzduch, posiela ho do vyrovnávacej vzduchovej nádrže na stabilizáciu tlaku a potom cez filter ďalej odstraňuje vlhkosť, olejovú hmlu atď. a cez chladiacu sušičku ho zmrazuje a dehydratuje, aby sa odstránilo veľké množstvo vlhkosti, a potom vstupuje do tretej fázy. Filter ďalej filtruje škodlivé látky a potom čistý stlačený vzduch vstupuje zo spodnej časti adsorpčnej veže. Po rozptýlení prúdu vzduchu cez zariadenie na difúziu vzduchu (univerzálna špirála alebo porcelánová guľa) rovnomerne vstupuje do adsorpčnej veže na adsorpciu a oddelenie kyslíka a dusíka a potom vystupuje z výstupného konca. Dusík prúdi von a vstupuje do zásobníka dusíka. Tento proces výroby dusíka trvá približne 1 minútu. Následne sa vyrovnaním tlaku a znížením tlaku (na normálny tlak) odstránia adsorbované nečistoty (hlavne kyslík) a regenerácia adsorbentu je dokončená. Dve adsorpčné veže pracujú v striedavých cykloch, nepretržite privádzajú surový vzduch a nepretržite produkujú kvalifikovaný dusík.

Aplikácia

Ochrana dusíkom: V procese výroby polovodičov je potrebné vykonávať mnoho krokov v prostredí bez kyslíka alebo s nízkym obsahom kyslíka, aby sa zabránilo kontaminácii alebo oxidácii materiálov kyslíkom. Generátory dusíka môžu poskytovať vysoko čistý dusík na ochranu polovodičových materiálov a zariadení a zabezpečovať čistotu a stabilitu počas výrobného procesu.

Nanášanie z pár: V polovodičových procesoch je nanášanie z pár bežnou technológiou nanášania tenkých vrstiev, ktorá vyžaduje použitie vysoko čistých plynov na zabezpečenie nanášacích materiálov. Generátor dusíka môže poskytovať vysoko čistý dusík na kontrolu a ochranu atmosféry počas procesu nanášania z pár.

Čistenie a sušenie: Čistenie a sušenie sú veľmi dôležité kroky pri výrobe polovodičov, ktoré si vyžadujú použitie suchého plynu na odstránenie vlhkosti a nečistôt. Generátory dusíka môžu poskytovať suchý dusík na čistenie a sušenie polovodičových zariadení a materiálov.

Analýza plynov: Počas procesu výroby polovodičov je potrebné analyzovať a monitorovať plyny, aby sa zabezpečila stabilita a konzistentnosť procesných podmienok. Generátor dusíka môže poskytovať vysoko čistý dusík na kalibráciu a dodávku plynu do prístrojov na analýzu plynov.

Stručne povedané, generátory dusíka zohrávajú dôležitú úlohu v polovodičovom priemysle a dokážu poskytovať vysoko čistý, stabilný a spoľahlivý dusík, ktorý spĺňa prísne požiadavky na kvalitu a dodávku plynu v procese výroby polovodičov.