Полупроводнички генератор на азот

При производство на полупроводници, обично е потребен азот со висока чистота за заштита на полупроводничките материјали и опрема. Генератор на азот е уред што се користи за производство на азот со висока чистота. Тој обично користи технологија за одвојување на воздухот за одвојување на азотот и кислородот во воздухот за да произведе азот со висока чистота.

За време на процесот на производство на полупроводници, генераторот на азот може да обезбеди стабилен азот со висока чистота за да ги заштити полупроводничките материјали и опрема од контаминација со кислород и други нечистотии. Ова помага да се обезбеди стабилност и сигурност за време на процесот на производство на полупроводници.

Затоа, генераторите на азот играат важна улога во производството на полупроводници и можат да помогнат во обезбедувањето на квалитетот и перформансите на полупроводничките производи.

Контактирајте не

Карактеристики

Производство на азот со висока чистота: Генераторот на азот може да произведе азот со висока чистота, кој обично може да достигне барање за чистота од повеќе од 99,999%, осигурувајќи дека квалитетот на гасот во процесот на производство на полупроводници ги исполнува барањата.

Стабилно снабдување со азот: Генераторот на азот може да обезбеди стабилно снабдување со азот за да се обезбеди стабилност и сигурност на азотот за време на процесот на производство на полупроводници.

Автоматизирана контрола: Генераторите на азот обично имаат автоматизирани системи за контрола кои можат да го следат и прилагодуваат производството на азот за да ги задоволат потребите на различните услови на процесот.

Ефикасни и енергетски штедливи: Современите генератори на азот обично се дизајнирани да бидат ефикасни и енергетски штедливи, способни да произведуваат азот со висока чистота, а воедно да ја намалат потрошувачката на енергија и оперативните трошоци.

Сигурност и издржливост: Генераторите на азот обично имаат висока сигурност и издржливост, можат да работат стабилно долго време и да ги задоволат потребите на процесите на производство на полупроводници.

спецификација

Производство на азот	1-5000 Nm³/ч
Чистота на азот	95%-99,9999%
Притисок на азот	0,1-1,6 MPa (прилагодливо)
Точка на роса на азот	0~-60℃

Процесен тек

Воздушниот компресор го компресира суровиот воздух во воздух под висок притисок, го испраќа до резервоарот за воздух за да го стабилизира притисокот, а потоа дополнително ја отстранува влагата, маслената магла итн. преку филтерот, и замрзнува и дехидрира преку ладилникот за сушење за да отстрани голема количина на влага, а потоа влегува во третата фаза. Филтерот дополнително ги филтрира штетните супстанции, а потоа чистиот компримиран воздух влегува од дното на адсорпциската кула. Откако протокот на воздух ќе се дифузира низ уредот за дифузија на воздух (универзална спирала или порцеланска топка), тој рамномерно влегува во адсорпциската кула за адсорпција и одвојување на кислород и азот, а потоа излегува од излезниот крај. Азотот истекува и влегува во резервоарот за складирање на азот. Овој процес на производство на азот трае околу 1 минута. Потоа, преку изедначување на притисокот и намалување на притисокот (до нормален притисок), адсорбираните компоненти на нечистотии (главно кислород) се отстрануваат и регенерацијата на адсорбентот е завршена. Двете адсорпциски кули работат во наизменични циклуси, континуирано снабдувајќи суров воздух и континуирано произведувајќи квалификуван азот.

Апликација

Заштита од азот: Во процесот на производство на полупроводници, многу чекори треба да се извршат во средина без кислород или со ниска содржина на кислород за да се спречи контаминација или оксидација на материјалите од кислород. Генераторите на азот можат да обезбедат азот со висока чистота за да ги заштитат полупроводничките материјали и опрема и да обезбедат чистота и стабилност за време на процесот на производство.

Таложење со пареа: Во полупроводничките процеси, таложењето со пареа е вообичаена технологија за таложење со тенок филм која бара употреба на гасови со висока чистота за да се обезбедат материјали за таложење. Генераторот на азот може да обезбеди азот со висока чистота за контрола и заштита на атмосферата за време на процесот на таложење со пареа.

Чистење и сушење: Чистењето и сушењето се многу важни чекори во производството на полупроводници, кои бараат употреба на сув гас за отстранување на влага и нечистотии. Генераторите на азот можат да обезбедат сув азот за чистење и сушење на полупроводничка опрема и материјали.

Анализа на гас: За време на процесот на производство на полупроводници, гасовите треба да се анализираат и следат за да се обезбеди стабилност и конзистентност на условите на процесот. Генераторот на азот може да обезбеди азот со висока чистота за калибрација и снабдување со гас на инструментите за анализа на гас.

Како заклучок, генераторите на азот играат важна улога во полупроводничката индустрија и можат да обезбедат високочист, стабилен и сигурен азот за да ги задоволат строгите барања за квалитет и снабдување со гас во процесот на производство на полупроводници.