Hálfleiðari köfnunarefnisframleiðandi.jpg

Hálfleiðari köfnunarefnisframleiðandi

Við framleiðslu á hálfleiðurum er venjulega þörf á hágæða köfnunarefni til að vernda hálfleiðaraefni og búnað. Köfnunarefnisframleiðandi er tæki sem notað er til að framleiða hágæða köfnunarefni. Hann notar venjulega loftskiljunartækni til að aðskilja köfnunarefni og súrefni í loftinu til að framleiða hágæða köfnunarefni.

Í framleiðsluferli hálfleiðara getur köfnunarefnisframleiðandinn veitt stöðugt, hreint köfnunarefni til að vernda hálfleiðaraefni og búnað gegn mengun af völdum súrefnis og annarra óhreininda. Þetta hjálpar til við að tryggja stöðugleika og áreiðanleika í framleiðsluferli hálfleiðara.

Þess vegna gegna köfnunarefnisframleiðendur mikilvægu hlutverki í framleiðslu hálfleiðara og geta hjálpað til við að tryggja gæði og afköst hálfleiðaravara.

Hafðu samband við okkur

Eiginleikar

Framleiðsla á köfnunarefni með mikilli hreinleika: Köfnunarefnisframleiðandinn getur framleitt köfnunarefni með mikilli hreinleika, sem venjulega nær hreinleikakröfum upp á meira en 99,999%, sem tryggir að gasgæði í framleiðsluferlinu fyrir hálfleiðara uppfylli kröfurnar.

Stöðugt köfnunarefnisframboð: Köfnunarefnisframleiðandinn getur veitt stöðugt köfnunarefnisframboð til að tryggja stöðugleika og áreiðanleika köfnunarefnis meðan á framleiðsluferli hálfleiðara stendur.

Sjálfvirk stjórnun: Köfnunarefnisframleiðendur eru yfirleitt með sjálfvirk stjórnkerfi sem geta fylgst með og aðlagað köfnunarefnisframleiðslu til að mæta þörfum mismunandi ferlisskilyrða.

Skilvirk og orkusparandi: Nútíma köfnunarefnisframleiðendur eru venjulega hannaðir til að vera skilvirkir og orkusparandi, færir um að framleiða hreint köfnunarefni og draga úr orkunotkun og rekstrarkostnaði.

Áreiðanleiki og endingartími: Köfnunarefnisframleiðendur eru yfirleitt áreiðanlegir og endingargóðir, geta starfað stöðugt í langan tíma og uppfylla þarfir framleiðsluferla hálfleiðara.

forskrift

Köfnunarefnisframleiðsla	1-5000Nm³/klst
Köfnunarefnishreinleiki	95%-99,9999%
Köfnunarefnisþrýstingur	0,1-1,6 MPa (stillanlegt)
Köfnunarefnisdöggpunktur	0~-60℃

Ferliflæði

Loftþjöppan þjappar óhreinsuðu lofti í háþrýstiloft, sendir það í loftstuðpúðatankinn til að stöðuga þrýstinginn og fjarlægir síðan raka, olíuþoku o.s.frv. í gegnum síuna og frýs og þurrkar í gegnum kæliþurrkara til að fjarlægja mikið magn af raka og fer síðan inn í þriðja stigið. Sían síar síðan skaðleg efni og síðan kemur hreint þjappað loft inn frá botni aðsogsturnsins. Eftir að loftflæðið hefur verið dreift í gegnum loftdreifingartækið (alhliða spíral eða postulínskúlu) fer það jafnt inn í aðsogsturninn til að taka upp og aðskilja súrefni og köfnunarefni og fer síðan út um útrásarenda. Köfnunarefnið rennur út og inn í köfnunarefnisgeymslutankinn. Þetta köfnunarefnisframleiðsluferli tekur um eina mínútu. Síðan, með þrýstingsjöfnun og þrýstingslækkun (í eðlilegan þrýsting), eru aðsogaðir óhreinindaþættir (aðallega súrefni) fjarlægðir og endurnýjun aðsogsefnisins er lokið. Aðsogsturnarnir tveir starfa í til skiptis hringrásum, knýja stöðugt óhreinsað loft og framleiða stöðugt hæft köfnunarefni.

Umsókn

Köfnunarefnisvernd: Í framleiðsluferli hálfleiðara þarf að framkvæma mörg skref í súrefnislausu eða súrefnissnauðu umhverfi til að koma í veg fyrir að efni mengist eða oxist af völdum súrefnis. Köfnunarefnisframleiðendur geta veitt hreinleika köfnunarefnis til að vernda hálfleiðaraefni og búnað og tryggja hreinleika og stöðugleika meðan á framleiðsluferlinu stendur.

Gufuútfelling: Í hálfleiðaraferlum er gufuútfelling algeng þunnfilmuútfellingartækni sem krefst notkunar á hreinum lofttegundum til að framleiða útfellingarefni. Köfnunarefnisframleiðandinn getur veitt hreint köfnunarefni til að stjórna andrúmsloftinu og vernda það meðan á gufuútfellingarferlinu stendur.

Þrif og þurrkun: Þrif og þurrkun eru mjög mikilvæg skref í framleiðslu hálfleiðara og krefjast notkunar þurrs gass til að fjarlægja raka og óhreinindi. Köfnunarefnisframleiðendur geta veitt þurrt köfnunarefni til að þrífa og þurrka hálfleiðarabúnað og efni.

Gasgreining: Í framleiðsluferli hálfleiðara þarf að greina og fylgjast með lofttegundum til að tryggja stöðugleika og samræmi í ferlinu. Köfnunarefnisframleiðandinn getur veitt hreint köfnunarefni til kvörðunar og gasframboðs fyrir gasgreiningartæki.

Í stuttu máli gegna köfnunarefnisframleiðendur mikilvægu hlutverki í hálfleiðaraiðnaðinum og geta veitt hreint, stöðugt og áreiðanlegt köfnunarefni til að uppfylla strangar kröfur um gæði og framboð gass í framleiðsluferli hálfleiðara.