Напівпровідниковий генератор азоту

Під час виробництва напівпровідників зазвичай потрібен високочистий азот для захисту напівпровідникових матеріалів та обладнання. Генератор азоту – це пристрій, що використовується для виробництва високочистого азоту. Зазвичай він використовує технологію розділення повітря для розділення азоту та кисню в повітрі для отримання високочистого азоту.

Під час виробництва напівпровідників генератор азоту може забезпечити стабільну подачу високочистого азоту для захисту напівпровідникових матеріалів та обладнання від забруднення киснем та іншими домішками. Це допомагає забезпечити стабільність та надійність під час виробництва напівпровідників.

Таким чином, генератори азоту відіграють важливу роль у виробництві напівпровідників і можуть допомогти забезпечити якість і продуктивність напівпровідникової продукції.

Зв'яжіться з нами

Особливості

Виробництво високочистого азоту: Генератор азоту може виробляти високочистий азот, який зазвичай досягає вимог щодо чистоти понад 99,999%, що гарантує відповідність якості газу в процесі виробництва напівпровідників вимогам.

Стабільне постачання азоту: Генератор азоту може забезпечити стабільне постачання азоту, щоб гарантувати стабільність та надійність азоту під час процесу виробництва напівпровідників.

Автоматизоване керування: Генератори азоту зазвичай мають автоматизовані системи керування, які можуть контролювати та регулювати вихід азоту відповідно до потреб різних умов процесу.

Ефективні та енергозберігаючі: Сучасні генератори азоту зазвичай розроблені таким чином, щоб бути ефективними та енергозберігаючими, здатними виробляти високочистий азот, одночасно знижуючи споживання енергії та експлуатаційні витрати.

Надійність та довговічність: Генератори азоту зазвичай мають високу надійність та довговічність, можуть стабільно працювати протягом тривалого часу та відповідають потребам процесів виробництва напівпровідників.

специфікація

Виробництво азоту	1-5000 Нм³/год
Чистота азоту	95%-99,9999%
Тиск азоту	0,1-1,6 МПа (регульований)
Точка роси азоту	0~-60℃

Потік процесу

Повітряний компресор стискає необроблене повітря до повітря високого тиску, направляє його до буферного резервуара для стабілізації тиску, а потім додатково видаляє вологу, масляний туман тощо через фільтр, заморожує та зневоднює через рефрижераторну сушарку для видалення великої кількості вологи, після чого переходить на третій етап. Фільтр додатково фільтрує шкідливі речовини, а потім чисте стиснене повітря надходить з нижньої частини адсорбційної вежі. Після того, як повітряний потік дифузійно розподіляється через пристрій для дифузії повітря (універсальну спіраль або порцелянову кульку), він рівномірно надходить до адсорбційної вежі для адсорбції та розділення кисню та азоту, а потім виходить з вихідного кінця. Азот витікає та надходить до резервуара для зберігання азоту. Цей процес виробництва азоту триває близько 1 хвилини. Після цього, шляхом вирівнювання тиску та зниження тиску (до нормального тиску), адсорбовані домішкові компоненти (головним чином кисень) видаляються, і регенерація адсорбенту завершується. Дві адсорбційні вежі працюють у чергуючих циклах, безперервно подаючи необроблене повітря та безперервно виробляючи кваліфікований азот.

Застосування

Захист азотом: У процесі виробництва напівпровідників багато етапів необхідно виконувати в середовищі без кисню або з низьким вмістом кисню, щоб запобігти забрудненню або окисленню матеріалів киснем. Генератори азоту можуть забезпечити подачу високочистого азоту для захисту напівпровідникових матеріалів та обладнання, а також забезпечення чистоти та стабільності під час виробничого процесу.

Осадження з парової фази: У напівпровідникових процесах осадження з парової фази є поширеною технологією осадження тонких плівок, яка вимагає використання високочистих газів для отримання матеріалів для осадження. Генератор азоту може забезпечити подачу високочистого азоту для контролю та захисту атмосфери під час процесу осадження з парової фази.

Очищення та сушіння: Очищення та сушіння є дуже важливими етапами у виробництві напівпровідників, що вимагають використання сухого газу для видалення вологи та домішок. Генератори азоту можуть забезпечити сухий азот для очищення та сушіння напівпровідникового обладнання та матеріалів.

Аналіз газів: Під час виробництва напівпровідників гази необхідно аналізувати та контролювати, щоб забезпечити стабільність та стабільність умов процесу. Генератор азоту може забезпечувати подачу високочистого азоту для калібрування та газопостачання приладів для аналізу газів.

Підсумовуючи, генератори азоту відіграють важливу роль у напівпровідниковій промисловості та можуть забезпечувати високочистий, стабільний та надійний азот, що відповідає суворим вимогам до якості та постачання газу в процесі виробництва напівпровідників.