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Générateur d'azote à semi-conducteur

Lors de la fabrication de semi-conducteurs, l'azote de haute pureté est généralement requis pour protéger les matériaux et les équipements. Un générateur d'azote est un appareil permettant de produire cet azote de haute pureté. Il utilise généralement une technologie de séparation de l'air pour séparer l'azote et l'oxygène présents dans l'air.

Lors du processus de fabrication des semi-conducteurs, le générateur d'azote fournit de l'azote stable et de haute pureté afin de protéger les matériaux et les équipements semi-conducteurs de toute contamination par l'oxygène et autres impuretés. Ceci contribue à garantir la stabilité et la fiabilité du processus de fabrication.

Par conséquent, les générateurs d'azote jouent un rôle important dans la fabrication des semi-conducteurs et peuvent contribuer à garantir la qualité et les performances des produits semi-conducteurs.

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Caractéristiques

Production d'azote de haute pureté : Le générateur d'azote peut produire de l'azote de haute pureté, atteignant généralement un niveau de pureté supérieur à 99,999 %, garantissant ainsi que la qualité du gaz dans le processus de fabrication des semi-conducteurs répond aux exigences.

Approvisionnement stable en azote : Le générateur d’azote peut fournir un approvisionnement stable en azote afin de garantir la stabilité et la fiabilité de l’azote pendant le processus de fabrication des semi-conducteurs.

Contrôle automatisé : Les générateurs d’azote sont généralement équipés de systèmes de contrôle automatisés capables de surveiller et d’ajuster la production d’azote afin de répondre aux besoins des différentes conditions de traitement.

Efficaces et économes en énergie : les générateurs d’azote modernes sont généralement conçus pour être efficaces et économes en énergie, capables de produire de l’azote de haute pureté tout en réduisant la consommation d’énergie et les coûts d’exploitation.

Fiabilité et durabilité : Les générateurs d'azote présentent généralement une fiabilité et une durabilité élevées, peuvent fonctionner de manière stable pendant une longue période et répondent aux besoins des processus de fabrication des semi-conducteurs.

spécification

production d'azote	1-5000 Nm³/h
Pureté de l'azote	95 % à 99,9999 %
Pression d'azote	0,1-1,6 MPa (réglable)
point de rosée de l'azote	0~-60℃

Flux de processus

Le compresseur d'air comprime l'air brut à haute pression, l'envoie vers le réservoir tampon pour stabiliser la pression, puis élimine l'humidité, les brouillards d'huile, etc., grâce à un filtre. L'air est ensuite congelé et déshydraté dans un sécheur frigorifique afin d'éliminer une grande partie de l'humidité, avant d'entrer dans la troisième étape. Un filtre retient les substances nocives, puis l'air comprimé propre pénètre par le bas de la tour d'adsorption. Après diffusion par un diffuseur (spirale universelle ou bille de porcelaine), l'air entre uniformément dans la tour d'adsorption pour l'adsorption et la séparation de l'oxygène et de l'azote, puis sort par l'orifice de sortie. L'azote ainsi produit est stocké dans le réservoir d'azote. Ce processus de production d'azote dure environ une minute. Ensuite, par égalisation et réduction de pression (retour à la pression normale), les impuretés adsorbées (principalement l'oxygène) sont éliminées et l'adsorbant est régénéré. Les deux tours d'adsorption fonctionnent en cycle alterné, alimentées en continu en air brut et produisant en continu de l'azote de qualité.

Application

Protection à l'azote : Dans le processus de fabrication des semi-conducteurs, de nombreuses étapes doivent être réalisées sous atmosphère inerte ou pauvre en oxygène afin d'éviter toute contamination ou oxydation des matériaux. Les générateurs d'azote fournissent de l'azote de haute pureté pour protéger les matériaux et équipements semi-conducteurs et garantir leur pureté et leur stabilité tout au long du processus de fabrication.

Dépôt en phase vapeur : Dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs, le dépôt en phase vapeur est une technique courante de dépôt de couches minces qui nécessite l’utilisation de gaz de haute pureté pour fournir les matériaux de dépôt. Le générateur d’azote permet de fournir de l’azote de haute pureté pour le contrôle et la protection de l’atmosphère durant le processus de dépôt en phase vapeur.

Nettoyage et séchage : Le nettoyage et le séchage sont des étapes cruciales de la fabrication des semi-conducteurs, nécessitant l’utilisation de gaz sec pour éliminer l’humidité et les impuretés. Les générateurs d’azote peuvent fournir de l’azote sec pour le nettoyage et le séchage des équipements et matériaux semi-conducteurs.

Analyse des gaz : Lors de la fabrication des semi-conducteurs, les gaz doivent être analysés et contrôlés afin de garantir la stabilité et la constance des conditions de production. Le générateur d’azote fournit de l’azote de haute pureté pour l’étalonnage et l’alimentation des instruments d’analyse des gaz.

En résumé, les générateurs d'azote jouent un rôle important dans l'industrie des semi-conducteurs et peuvent fournir de l'azote de haute pureté, stable et fiable pour répondre aux exigences strictes en matière de qualité et d'approvisionnement en gaz dans le processus de fabrication des semi-conducteurs.