Generador de nitrogen semiconductor

Quan es fabriquen semiconductors, normalment es requereix nitrogen d'alta puresa per protegir els materials i equips semiconductors. Un generador de nitrogen és un dispositiu que s'utilitza per produir nitrogen d'alta puresa. Normalment utilitza tecnologia de separació d'aire per separar el nitrogen i l'oxigen de l'aire per produir nitrogen d'alta puresa.

Durant el procés de fabricació de semiconductors, el generador de nitrogen pot proporcionar nitrogen estable d'alta puresa per protegir els materials i equips semiconductors de la contaminació per oxigen i altres impureses. Això ajuda a garantir l'estabilitat i la fiabilitat durant el procés de fabricació de semiconductors.

Per tant, els generadors de nitrogen tenen un paper important en la fabricació de semiconductors i poden ajudar a garantir la qualitat i el rendiment dels productes semiconductors.

Contacta amb nosaltres

Característiques

Producció de nitrogen d'alta puresa: el generador de nitrogen pot produir nitrogen d'alta puresa, que normalment pot assolir el requisit de puresa de més del 99,999%, garantint que la qualitat del gas en el procés de fabricació de semiconductors compleixi els requisits.

Subministrament estable de nitrogen: el generador de nitrogen pot proporcionar un subministrament estable de nitrogen per garantir l'estabilitat i la fiabilitat del nitrogen durant el procés de fabricació de semiconductors.

Control automatitzat: els generadors de nitrogen solen tenir sistemes de control automatitzats que poden monitoritzar i ajustar la producció de nitrogen per satisfer les necessitats de les diferents condicions del procés.

Eficient i estalviador d'energia: els generadors de nitrogen moderns solen estar dissenyats per ser eficients i estalviadors d'energia, capaços de produir nitrogen d'alta puresa alhora que redueixen el consum d'energia i els costos operatius.

Fiabilitat i durabilitat: els generadors de nitrogen solen tenir una alta fiabilitat i durabilitat, poden funcionar de manera estable durant molt de temps i satisfan les necessitats dels processos de fabricació de semiconductors.

especificació

producció de nitrogen	1-5000 Nm³/h
Puresa del nitrogen	95%-99,9999%
Pressió de nitrogen	0,1-1,6MPa (ajustable)
punt de rosada del nitrogen	0~-60℃

Flux del procés

El compressor d'aire comprimeix l'aire brut en aire a alta pressió, l'envia al dipòsit d'aire intermedi per estabilitzar la pressió i després elimina la humitat, la boira d'oli, etc. a través del filtre, i es congela i deshidrata a través de l'assecador refrigerat per eliminar una gran quantitat d'humitat, i després entra a la tercera etapa. El filtre filtra encara més les substàncies nocives i després l'aire comprimit net entra des de la part inferior de la torre d'adsorció. Després que el flux d'aire es difongui a través del dispositiu de difusió d'aire (espiral universal o bola de porcellana), entra uniformement a la torre d'adsorció per a l'adsorció i separació d'oxigen i nitrogen, i després surt per l'extrem de sortida. El nitrogen flueix i entra al dipòsit d'emmagatzematge de nitrogen. Aquest procés de producció de nitrogen triga aproximadament 1 minut. Després, mitjançant l'igualació de la pressió i la reducció de la pressió (a la pressió normal), s'eliminen els components d'impuresa adsorbits (principalment oxigen) i es completa la regeneració de l'adsorbent. Les dues torres d'adsorció funcionen en cicles alterns, alimentant contínuament aire brut i produint contínuament nitrogen qualificat.

Aplicació

Protecció amb nitrogen: En el procés de fabricació de semiconductors, cal dur a terme molts passos en un entorn sense oxigen o amb baix contingut d'oxigen per evitar que els materials siguin contaminats o oxidats per oxigen. Els generadors de nitrogen poden proporcionar nitrogen d'alta puresa per protegir els materials i equips semiconductors i garantir la puresa i l'estabilitat durant el procés de fabricació.

Deposició de vapor: En els processos de semiconductors, la deposició de vapor és una tecnologia comuna de deposició de pel·lícules primes que requereix l'ús de gasos d'alta puresa per proporcionar materials de deposició. El generador de nitrogen pot proporcionar nitrogen d'alta puresa per al control i la protecció de l'atmosfera durant el procés de deposició de vapor.

Neteja i assecat: La neteja i l'assecat són passos molt importants en la fabricació de semiconductors, que requereixen l'ús de gas sec per eliminar la humitat i les impureses. Els generadors de nitrogen poden proporcionar nitrogen sec per netejar i assecar equips i materials semiconductors.

Anàlisi de gasos: Durant el procés de fabricació de semiconductors, cal analitzar i controlar els gasos per garantir l'estabilitat i la consistència de les condicions del procés. El generador de nitrogen pot proporcionar nitrogen d'alta puresa per a la calibració i el subministrament de gas dels instruments d'anàlisi de gasos.

En resum, els generadors de nitrogen tenen un paper important en la indústria dels semiconductors i poden proporcionar nitrogen d'alta puresa, estable i fiable per complir els estrictes requisits de qualitat i subministrament del gas en el procés de fabricació de semiconductors.