• TikTok (1)
  • 65e82dd5zw
  • 65e82ddy2n
  • 65e82ddq7i
Leave Your Message
Deixa a túa mensaxe

Xerador de nitróxeno semicondutor

Ao fabricar semicondutores, adoita requirirse nitróxeno de alta pureza para protexer os materiais e equipos semicondutores. Un xerador de nitróxeno é un dispositivo que se emprega para producir nitróxeno de alta pureza. Normalmente emprega tecnoloxía de separación de aire para separar o nitróxeno e o osíxeno do aire para producir nitróxeno de alta pureza.

Durante o proceso de fabricación de semicondutores, o xerador de nitróxeno pode fornecer nitróxeno estable de alta pureza para protexer os materiais e equipos semicondutores da contaminación por osíxeno e outras impurezas. Isto axuda a garantir a estabilidade e a fiabilidade durante o proceso de fabricación de semicondutores.

Polo tanto, os xeradores de nitróxeno desempeñan un papel importante na fabricación de semicondutores e poden axudar a garantir a calidade e o rendemento dos produtos semicondutores.

    Características

    Produción de nitróxeno de alta pureza: o xerador de nitróxeno pode producir nitróxeno de alta pureza, que normalmente pode alcanzar o requisito de pureza de máis do 99,999 %, garantindo que a calidade do gas no proceso de fabricación de semicondutores cumpra os requisitos.

    Suministro estable de nitróxeno: o xerador de nitróxeno pode proporcionar un subministro estable de nitróxeno para garantir a estabilidade e a fiabilidade do nitróxeno durante o proceso de fabricación de semicondutores.

    Control automatizado: os xeradores de nitróxeno adoitan ter sistemas de control automatizados que poden monitorizar e axustar a saída de nitróxeno para satisfacer as necesidades das diferentes condicións do proceso.

    Eficiente e aforro de enerxía: os xeradores de nitróxeno modernos adoitan estar deseñados para seren eficientes e aforradores de enerxía, capaces de producir nitróxeno de alta pureza e reducir ao mesmo tempo o consumo de enerxía e os custos operativos.

    Fiabilidade e durabilidade: os xeradores de nitróxeno adoitan ter unha alta fiabilidade e durabilidade, poden funcionar de forma estable durante moito tempo e satisfacen as necesidades dos procesos de fabricación de semicondutores.

    especificación

    produción de nitróxeno

    1-5000 Nm³/h

    pureza do nitróxeno

    95%-99,9999%

    presión de nitróxeno

    0,1-1,6 MPa (axustable)

    Punto de orballo de nitróxeno

    0~-60 ℃

    Fluxo do proceso

    66274b3507

    O compresor de aire comprime o aire bruto a aire a alta presión, envíao ao tanque de amortiguamento de aire para estabilizar a presión e, a continuación, elimina a humidade, a néboa de aceite, etc. a través do filtro, e conxélao e deshidratao a través do secador refrixerado para eliminar unha gran cantidade de humidade, e logo entra na terceira etapa. O filtro filtra aínda máis as substancias nocivas e, a continuación, o aire comprimido limpo entra pola parte inferior da torre de adsorción. Despois de que o fluxo de aire se difunda a través do dispositivo de difusión de aire (espiral universal ou bóla de porcelana), entra uniformemente na torre de adsorción para a adsorción e separación de osíxeno e nitróxeno e, a continuación, sae polo extremo de saída. O nitróxeno flúe cara a fóra e entra no tanque de almacenamento de nitróxeno. Este proceso de produción de nitróxeno leva aproximadamente 1 minuto. Despois, a través da ecualización da presión e a redución da presión (á presión normal), elimínanse os compoñentes de impureza adsorbidos (principalmente osíxeno) e complétase a rexeneración do adsorbente. As dúas torres de adsorción funcionan en ciclos alternados, alimentando continuamente aire bruto e producindo continuamente nitróxeno cualificado.

    Aplicación

    5cbd8850b3dfd89a1a698e2aedbd29de1v

    Protección contra o nitróxeno: no proceso de fabricación de semicondutores, moitos pasos deben realizarse nun ambiente libre ou con baixo contido de osíxeno para evitar que os materiais sexan contaminados ou oxidados polo osíxeno. Os xeradores de nitróxeno poden proporcionar nitróxeno de alta pureza para protexer os materiais e equipos semicondutores e garantir a pureza e a estabilidade durante o proceso de fabricación.

    Deposición de vapor: Nos procesos de semicondutores, a deposición de vapor é unha tecnoloxía común de deposición de película fina que require o uso de gases de alta pureza para proporcionar materiais de deposición. O xerador de nitróxeno pode proporcionar nitróxeno de alta pureza para o control e a protección da atmosfera durante o proceso de deposición de vapor.

    Limpeza e secado: A limpeza e o secado son pasos moi importantes na fabricación de semicondutores, xa que requiren o uso de gas seco para eliminar a humidade e as impurezas. Os xeradores de nitróxeno poden proporcionar nitróxeno seco para limpar e secar equipos e materiais semicondutores.

    Análise de gases: Durante o proceso de fabricación de semicondutores, é necesario analizar e monitorizar os gases para garantir a estabilidade e a consistencia das condicións do proceso. O xerador de nitróxeno pode proporcionar nitróxeno de alta pureza para a calibración e o subministro de gas dos instrumentos de análise de gases.

    En resumo, os xeradores de nitróxeno desempeñan un papel importante na industria dos semicondutores e poden proporcionar nitróxeno de alta pureza, estable e fiable para cumprir os estritos requisitos de calidade e subministración de gas no proceso de fabricación de semicondutores.

    ee3642bdd6cfd27b1b8fd4db766355c86x