Halvleder nitrogengenerator

Ved produksjon av halvledere kreves det vanligvis nitrogen med høy renhet for å beskytte halvledermaterialer og utstyr. En nitrogengenerator er en enhet som brukes til å produsere nitrogen med høy renhet. Den bruker vanligvis luftseparasjonsteknologi for å separere nitrogen og oksygen i luften for å produsere nitrogen med høy renhet.

Under produksjonsprosessen for halvledere kan nitrogengeneratoren gi stabilt nitrogen med høy renhet for å beskytte halvledermaterialer og -utstyr mot forurensning fra oksygen og andre urenheter. Dette bidrar til å sikre stabilitet og pålitelighet under produksjonsprosessen for halvledere.

Derfor spiller nitrogengeneratorer en viktig rolle i halvlederproduksjon og kan bidra til å sikre kvaliteten og ytelsen til halvlederprodukter.

Kontakt oss

Funksjoner

Produksjon av nitrogen med høy renhet: Nitrogengeneratoren kan produsere nitrogen med høy renhet, som vanligvis kan nå renhetskravet på mer enn 99,999 %, noe som sikrer at gasskvaliteten i halvlederproduksjonsprosessen oppfyller kravene.

Stabil nitrogenforsyning: Nitrogengeneratoren kan gi en stabil nitrogenforsyning for å sikre stabilitet og pålitelighet av nitrogen under halvlederproduksjonsprosessen.

Automatisert kontroll: Nitrogengeneratorer har vanligvis automatiserte kontrollsystemer som kan overvåke og justere nitrogenproduksjonen for å møte behovene til ulike prosessforhold.

Effektive og energibesparende: Moderne nitrogengeneratorer er vanligvis designet for å være effektive og energibesparende, og kan produsere nitrogen med høy renhet samtidig som de reduserer energiforbruket og driftskostnadene.

Pålitelighet og holdbarhet: Nitrogengeneratorer har vanligvis høy pålitelighet og holdbarhet, kan fungere stabilt over lang tid og oppfyller behovene til halvlederproduksjonsprosesser.

spesifikasjon

Nitrogenproduksjon	1–5000 Nm³/t
Nitrogenrenhet	95 %–99,9999 %
Nitrogentrykk	0,1–1,6 MPa (justerbar)
Nitrogenduggpunkt	0~-60 ℃

Prosessflyt

Luftkompressoren komprimerer råluften til høytrykksluft, sender den til luftbuffertanken for å stabilisere trykket, og fjerner deretter fuktighet, oljetåke osv. gjennom filteret, og fryser og dehydrerer gjennom kjøletørkeren for å fjerne en stor mengde fuktighet, og går deretter inn i tredje trinn. Filteret filtrerer videre skadelige stoffer, og deretter kommer den rene trykkluften inn fra bunnen av adsorpsjonstårnet. Etter at luftstrømmen er diffusert gjennom luftdiffusjonsanordningen (universalspiral eller porselenskule), kommer den jevnt inn i adsorpsjonstårnet for oksygen- og nitrogenadsorpsjon og separasjon, og går deretter ut fra utløpsenden. Nitrogenet strømmer ut og inn i nitrogenlagringstanken. Denne nitrogenproduksjonsprosessen tar omtrent 1 minutt. Deretter, gjennom trykkutjevning og trykkreduksjon (til normalt trykk), fjernes de adsorberte urenhetskomponentene (hovedsakelig oksygen), og regenereringen av adsorbenten er fullført. De to adsorpsjonstårnene opererer i vekslende sykluser, kontinuerlig tilførsel av råluft og kontinuerlig produksjon av kvalifisert nitrogen.

Søknad

Nitrogenbeskyttelse: I produksjonsprosessen for halvledere må mange trinn utføres i et oksygenfritt eller oksygenfattig miljø for å forhindre at materialer blir forurenset eller oksidert av oksygen. Nitrogengeneratorer kan gi nitrogen med høy renhet for å beskytte halvledermaterialer og -utstyr og sikre renhet og stabilitet under produksjonsprosessen.

Dampavsetning: I halvlederprosesser er dampavsetning en vanlig tynnfilmavsetningsteknologi som krever bruk av høyrene gasser for å tilveiebringe avsetningsmaterialer. Nitrogengeneratoren kan gi høyrent nitrogen for atmosfærekontroll og beskyttelse under dampavsetningsprosessen.

Rengjøring og tørking: Rengjøring og tørking er svært viktige trinn i halvlederproduksjon, og krever bruk av tørrgass for å fjerne fuktighet og urenheter. Nitrogengeneratorer kan gi tørr nitrogen for rengjøring og tørking av halvlederutstyr og -materialer.

Gassanalyse: Under produksjonsprosessen for halvledere må gasser analyseres og overvåkes for å sikre stabilitet og konsistens i prosessforholdene. Nitrogengeneratoren kan gi nitrogen med høy renhet for kalibrering og gasstilførsel av gassanalyseinstrumenter.

Kort sagt, nitrogengeneratorer spiller en viktig rolle i halvlederindustrien og kan levere nitrogen med høy renhet, stabilt og pålitelig for å oppfylle de strenge kravene til gasskvalitet og -forsyning i produksjonsprosessen for halvledere.