Generator azotu półprzewodnikowy

Podczas produkcji półprzewodników zazwyczaj wymagany jest azot o wysokiej czystości, aby chronić materiały i urządzenia półprzewodnikowe. Generator azotu to urządzenie służące do wytwarzania azotu o wysokiej czystości. Zazwyczaj wykorzystuje on technologię separacji powietrza, aby oddzielić azot od tlenu w powietrzu i uzyskać azot o wysokiej czystości.

Podczas procesu produkcji półprzewodników generator azotu może dostarczać stabilny azot o wysokiej czystości, chroniąc materiały i urządzenia półprzewodnikowe przed zanieczyszczeniem tlenem i innymi zanieczyszczeniami. Pomaga to zapewnić stabilność i niezawodność procesu produkcji półprzewodników.

Dlatego generatory azotu odgrywają istotną rolę w produkcji półprzewodników i mogą pomóc zapewnić jakość i wydajność produktów półprzewodnikowych.

Skontaktuj się z nami

Cechy

Produkcja azotu o wysokiej czystości: Generator azotu może wytwarzać azot o wysokiej czystości, który zazwyczaj osiąga wymaganą czystość ponad 99,999%, co gwarantuje, że jakość gazu w procesie produkcji półprzewodników spełnia wymagania.

Stabilne dostarczanie azotu: Generator azotu może zapewnić stabilne dostarczanie azotu, gwarantując stabilność i niezawodność azotu podczas procesu produkcji półprzewodników.

Sterowanie automatyczne: Generatory azotu zwykle mają automatyczne systemy sterowania, które mogą monitorować i regulować produkcję azotu, aby spełnić wymagania różnych warunków procesowych.

Wydajne i energooszczędne: Nowoczesne generatory azotu są zazwyczaj projektowane tak, aby były wydajne i energooszczędne. Mogą wytwarzać azot o wysokiej czystości, jednocześnie redukując zużycie energii i koszty eksploatacji.

Niezawodność i trwałość: Generatory azotu zwykle charakteryzują się wysoką niezawodnością i trwałością, mogą pracować stabilnie przez długi czas i spełniać wymagania procesów produkcji półprzewodników.

specyfikacja

Produkcja azotu	1-5000Nm³/h
Czystość azotu	95%-99,9999%
Ciśnienie azotu	0,1-1,6 MPa (regulowane)
Punkt rosy azotu	0~-60℃

Przepływ procesu

Sprężarka powietrza spręża surowe powietrze do postaci powietrza o wysokim ciśnieniu, przesyła je do zbiornika buforowego w celu stabilizacji ciśnienia, a następnie usuwa wilgoć, mgłę olejową itp. przez filtr, a następnie zamraża i odwadnia w osuszaczu chłodniczym, aby usunąć dużą ilość wilgoci, po czym przechodzi do trzeciego stopnia. Filtr dodatkowo filtruje szkodliwe substancje, a następnie czyste sprężone powietrze wpływa od spodu wieży adsorpcyjnej. Po rozproszeniu strumienia powietrza przez urządzenie dyfuzyjne (uniwersalną spiralę lub kulkę porcelanową), powietrze równomiernie wpływa do wieży adsorpcyjnej w celu adsorpcji i separacji tlenu i azotu, a następnie wypływa przez wylot. Azot wypływa i trafia do zbiornika magazynującego azot. Proces produkcji azotu trwa około 1 minuty. Następnie, poprzez wyrównanie ciśnienia i jego redukcję (do ciśnienia normalnego), usuwane są zaadsorbowane składniki zanieczyszczeń (głównie tlen), co kończy regenerację adsorbentu. Dwie wieże adsorpcyjne pracują naprzemiennie, stale dostarczając surowe powietrze i stale produkując wysokiej jakości azot.

Aplikacja

Ochrona azotem: W procesie produkcji półprzewodników wiele etapów musi być wykonywanych w środowisku beztlenowym lub o niskiej zawartości tlenu, aby zapobiec zanieczyszczeniu lub utlenieniu materiałów tlenem. Generatory azotu mogą dostarczać azot o wysokiej czystości, chroniąc materiały i urządzenia półprzewodnikowe oraz zapewniając czystość i stabilność w trakcie procesu produkcyjnego.

Osadzanie z fazy gazowej: W procesach półprzewodnikowych, osadzanie z fazy gazowej jest powszechną technologią osadzania cienkich warstw, która wymaga użycia gazów o wysokiej czystości do uzyskania materiałów osadowych. Generator azotu może dostarczać azot o wysokiej czystości do kontroli atmosfery i ochrony podczas procesu osadzania z fazy gazowej.

Czyszczenie i suszenie: Czyszczenie i suszenie to bardzo ważne etapy w produkcji półprzewodników, wymagające użycia suchego gazu do usuwania wilgoci i zanieczyszczeń. Generatory azotu mogą dostarczać suchy azot do czyszczenia i suszenia urządzeń i materiałów półprzewodnikowych.

Analiza gazów: Podczas procesu produkcji półprzewodników gazy muszą być analizowane i monitorowane, aby zapewnić stabilność i spójność warunków procesu. Generator azotu może dostarczać azot o wysokiej czystości do kalibracji i zasilania gazem urządzeń do analizy gazów.

Podsumowując, generatory azotu odgrywają ważną rolę w przemyśle półprzewodnikowym, zapewniając wysoką czystość, stabilność i niezawodność azotu, spełniając rygorystyczne wymagania dotyczące jakości gazu i dostaw w procesie produkcji półprzewodników.