Полупроводнички генератор азота

Приликом производње полупроводника, обично је потребан азот високе чистоће ради заштите полупроводничких материјала и опреме. Генератор азота је уређај који се користи за производњу азота високе чистоће. Обично користи технологију раздвајања ваздуха како би одвојио азот и кисеоник у ваздуху и произвео азот високе чистоће.

Током процеса производње полупроводника, генератор азота може да обезбеди стабилан азот високе чистоће како би заштитио полупроводничке материјале и опрему од контаминације кисеоником и другим нечистоћама. Ово помаже у обезбеђивању стабилности и поузданости током процеса производње полупроводника.

Стога, генератори азота играју важну улогу у производњи полупроводника и могу помоћи у обезбеђивању квалитета и перформанси полупроводничких производа.

Контактирајте нас

Карактеристике

Производња азота високе чистоће: Генератор азота може да произведе азот високе чистоће, који обично може да достигне захтев за чистоћу од преко 99,999%, осигуравајући да квалитет гаса у процесу производње полупроводника испуњава захтеве.

Стабилно снабдевање азотом: Генератор азота може да обезбеди стабилно снабдевање азотом како би се осигурала стабилност и поузданост азота током процеса производње полупроводника.

Аутоматизована контрола: Генератори азота обично имају аутоматизоване системе управљања који могу да прате и подешавају излаз азота како би задовољили потребе различитих услова процеса.

Ефикасни и енергетски штедљиви: Модерни генератори азота су обично дизајнирани да буду ефикасни и енергетски штедљиви, способни да производе азот високе чистоће уз смањење потрошње енергије и оперативних трошкова.

Поузданост и издржљивост: Генератори азота обично имају високу поузданост и издржљивост, могу стабилно радити дуго времена и задовољавају потребе процеса производње полупроводника.

спецификација

Производња азота	1-5000 Нм³/х
Чистоћа азота	95%-99,9999%
Притисак азота	0,1-1,6 МПа (подесиво)
Тачка росе азота	0~-60℃

Ток процеса

Ваздушни компресор компримује сирови ваздух у ваздух под високим притиском, шаље га у резервоар за ваздух ради стабилизације притиска, а затим даље уклања влагу, уљну маглу итд. кроз филтер, и замрзава и дехидрира кроз расхладни сушач ради уклањања велике количине влаге, а затим улази у трећу фазу. Филтер даље филтрира штетне материје, а затим чисти компримовани ваздух улази са дна адсорпционог торња. Након што се проток ваздуха дифузује кроз уређај за дифузију ваздуха (универзална спирала или порцеланска кугла), он равномерно улази у адсорпциони торањ ради адсорпције и раздвајања кисеоника и азота, а затим излази на излазном крају. Азот истиче и улази у резервоар за складиштење азота. Овај процес производње азота траје око 1 минут. Након тога, изједначавањем притиска и смањењем притиска (на нормалан притисак), уклањају се адсорбоване компоненте нечистоћа (углавном кисеоник) и регенерација адсорбента је завршена. Два адсорпциона торња раде у наизменичним циклусима, континуирано доводећи сирови ваздух и континуирано производећи квалификовани азот.

Примена

Заштита азотом: У процесу производње полупроводника, многи кораци морају се изводити у окружењу без кисеоника или са ниским садржајем кисеоника како би се спречило контаминирање или оксидација материјала кисеоником. Генератори азота могу да обезбеде азот високе чистоће како би заштитили полупроводничке материјале и опрему и осигурали чистоћу и стабилност током процеса производње.

Таложење из паре: У полупроводничким процесима, таложење из паре је уобичајена технологија таложења танких филмова која захтева употребу гасова високе чистоће за обезбеђивање материјала за таложење. Генератор азота може да обезбеди азот високе чистоће за контролу и заштиту атмосфере током процеса таложења из паре.

Чишћење и сушење: Чишћење и сушење су веома важни кораци у производњи полупроводника, који захтевају употребу сувог гаса за уклањање влаге и нечистоћа. Генератори азота могу да обезбеде суви азот за чишћење и сушење полупроводничке опреме и материјала.

Анализа гаса: Током процеса производње полупроводника, гасове је потребно анализирати и пратити како би се осигурала стабилност и конзистентност услова процеса. Генератор азота може да обезбеди азот високе чистоће за калибрацију и снабдевање гасом инструмената за анализу гаса.

Укратко, генератори азота играју важну улогу у полупроводничкој индустрији и могу да обезбеде високо чист, стабилан и поуздан азот како би испунили строге захтеве за квалитет и снабдевање гасом у процесу производње полупроводника.