Yarı iletken azot jeneratörü

Yarı iletken üretiminde, yarı iletken malzemeleri ve ekipmanları korumak için genellikle yüksek saflıkta nitrojen gereklidir. Nitrojen jeneratörü, yüksek saflıkta nitrojen üretmek için kullanılan bir cihazdır. Genellikle havadaki nitrojen ve oksijeni ayırmak için hava ayırma teknolojisini kullanarak yüksek saflıkta nitrojen üretir.

Yarı iletken üretim sürecinde, azot jeneratörü, yarı iletken malzemeleri ve ekipmanlarını oksijen ve diğer safsızlıklardan korumak için kararlı ve yüksek saflıkta azot sağlayabilir. Bu, yarı iletken üretim sürecinde istikrar ve güvenilirliğin sağlanmasına yardımcı olur.

Bu nedenle, azot jeneratörleri yarı iletken üretiminde önemli bir rol oynar ve yarı iletken ürünlerin kalitesini ve performansını sağlamaya yardımcı olabilir.

Bize Ulaşın

Özellikler

Yüksek saflıkta azot üretimi: Azot jeneratörü, genellikle %99,999'dan fazla saflık gereksinimini karşılayabilen yüksek saflıkta azot üretebilir ve böylece yarı iletken üretim sürecindeki gaz kalitesinin gereksinimleri karşılamasını sağlar.

İstikrarlı azot tedariği: Azot jeneratörü, yarı iletken üretim sürecinde azotun istikrarını ve güvenilirliğini sağlamak için istikrarlı bir azot tedariği sağlayabilir.

Otomatik kontrol: Azot jeneratörleri genellikle farklı proses koşullarının ihtiyaçlarını karşılamak için azot çıkışını izleyebilen ve ayarlayabilen otomatik kontrol sistemlerine sahiptir.

Verimli ve enerji tasarruflu: Modern azot jeneratörleri genellikle verimli ve enerji tasarruflu olacak şekilde tasarlanmıştır; enerji tüketimini ve işletme maliyetlerini azaltırken yüksek saflıkta azot üretebilirler.

Güvenilirlik ve dayanıklılık: Azot jeneratörleri genellikle yüksek güvenilirlik ve dayanıklılığa sahiptir, uzun süre istikrarlı bir şekilde çalışabilir ve yarı iletken üretim süreçlerinin ihtiyaçlarını karşılayabilir.

spesifikasyon

Azot üretimi	1-5000Nm³/h
Azot saflığı	%95-%99,9999
Azot basıncı	0,1-1,6 MPa (Ayarlanabilir)
Azot çiğlenme noktası	0~-60℃

Süreç akışı

Hava kompresörü ham havayı yüksek basınçlı havaya sıkıştırır, basıncı dengelemek için hava tampon tankına gönderir ve ardından filtreden geçirerek nemi, yağ buharını vb. uzaklaştırır, soğutmalı kurutucudan geçirerek dondurup kurutarak büyük miktarda nemi giderir ve daha sonra üçüncü aşamaya geçer. Filtre, zararlı maddeleri daha da filtreler ve ardından temiz basınçlı hava adsorpsiyon kulesinin altından girer. Hava akışı, hava difüzyon cihazından (evrensel spiral veya porselen top) geçtikten sonra, oksijen ve azot adsorpsiyonu ve ayrıştırılması için adsorpsiyon kulesine eşit olarak girer ve ardından çıkış ucundan çıkar. Azot dışarı akar ve azot depolama tankına girer. Bu azot üretim süreci yaklaşık 1 dakika sürer. Daha sonra, basınç eşitleme ve basınç düşürme (normal basınca) yoluyla, adsorbe edilen safsızlık bileşenleri (esas olarak oksijen) uzaklaştırılır ve adsorbanın rejenerasyonu tamamlanır. İki adsorpsiyon kulesi dönüşümlü döngülerde çalışarak, sürekli olarak ham hava besler ve sürekli olarak nitelikli azot üretir.

Başvuru

Azot koruması: Yarı iletken üretim sürecinde, malzemelerin oksijenle kirlenmesini veya oksitlenmesini önlemek için birçok adımın oksijensiz veya düşük oksijenli bir ortamda gerçekleştirilmesi gerekir. Azot jeneratörleri, yarı iletken malzemeleri ve ekipmanları korumak ve üretim sürecinde saflık ve kararlılığı sağlamak için yüksek saflıkta azot sağlayabilir.

Buhar biriktirme: Yarı iletken işlemlerinde, buhar biriktirme, biriktirme malzemeleri sağlamak için yüksek saflıkta gazların kullanılmasını gerektiren yaygın bir ince film biriktirme teknolojisidir. Azot jeneratörü, buhar biriktirme işlemi sırasında atmosfer kontrolü ve koruma için yüksek saflıkta azot sağlayabilir.

Temizleme ve kurutma: Temizleme ve kurutma, yarı iletken üretiminde çok önemli adımlardır ve nemi ve safsızlıkları gidermek için kuru gaz kullanımını gerektirir. Azot jeneratörleri, yarı iletken ekipman ve malzemelerin temizlenmesi ve kurutulması için kuru azot sağlayabilir.

Gaz Analizi: Yarı iletken üretim sürecinde, proses koşullarının kararlılığını ve tutarlılığını sağlamak için gazların analiz edilmesi ve izlenmesi gerekir. Azot jeneratörü, gaz analiz cihazlarının kalibrasyonu ve gaz tedariği için yüksek saflıkta azot sağlayabilir.

Özetle, azot jeneratörleri yarı iletken endüstrisinde önemli bir rol oynamakta olup, yarı iletken üretim sürecinde gaz kalitesi ve tedariki için gereken katı şartları karşılamak üzere yüksek saflıkta, istikrarlı ve güvenilir azot sağlayabilmektedir.